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什么是热解氮化硼?
2023-06-13

Pyrolytic Boron Nitride Crucibles

热解氮化硼坩埚

介绍

热解 BN 或 PBN 是热解氮化硼的缩写。它是一种采用化学气相沉积(CVD)方法制造的六方氮化硼,也是一种纯度极高的氮化硼,纯度可达99.99%以上,几乎无孔隙。


结构

如上所述,热解氮化硼 (PBN) 是六方晶系的成员。层内原子间距为1.45,层间原子间距为3.33,差异显着。 PBN的堆叠机制是ababab,其结构分别由层内和沿C轴交替的B和N原子组成。


优势

PBN 材料具有极强的抗热冲击能力,并具有高度各向异性(方向相关)的热传输。此外,PBN 是一种优质的电绝缘体。该物质在惰性、还原性和氧化性气氛中分别在高达 2800°C 和 850°C 的温度下保持稳定。

 

在产品方面,PBN 可以形成 2D 或 3D 物体,如坩埚、舟、板、晶片、管和瓶子,也可以用作石墨涂层。在大多数熔融金属(Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Sn 等)、酸和热氨中,PBN 在高达 1700°C 的石墨上涂覆时表现出出色的温度稳定性,可抵抗热冲击,并能抵抗气体腐蚀。

 

产品

PBN坩埚:PBN坩埚是最适合化合物半导体单晶形成的容器,且不可替代;

在MBE工艺中,它是蒸发元素和化合物的理想容器;

此外,热解氮化硼坩埚还用作OLED生产线中的蒸发元件容器。

 

  • PG/PBN 加热器:PBN 加热器的潜在应用包括 MOCVD 加热、金属加热、蒸发加热、超导基底加热、样品分析加热、电子显微镜样品加热、半导体基底加热等。

     

  • PBN 片/环:PBN 在高温下具有优异的性能,例如高纯度以及能够在超高真空中承受 2300 °C 的加热而不分解。此外,它不会排放气体污染物。这些特性还使得 PBN 能够被加工成各种几何形状。


  • PBN 涂层石墨:PBN 有潜力成为一种有效的氟化盐润湿材料,当应用于石墨时,可能会阻止材料之间的相互作用。因此,它经常用于保护机器中的石墨部件。


TFPV 工艺中的 PBN 材料

在 TFPV(薄膜光伏)工艺中使用 PBN 材料有助于降低沉积成本并提高最终光伏电池的效率,使太阳能发电的成本与碳基方法一样便宜。


结论

许多行业发现热解氮化硼有大量用途。它的广泛使用可归因于其一些出色的品质,包括优异的纯度和耐腐蚀性。热解氮化硼在各个领域的潜在应用仍在研究中。


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