氮化硅 (Si3N4) 是一种由硅和氮组成的非金属化合物,也是一种先进的陶瓷材料,具有最适应性强的机械、热和电性能组合。此外,与大多数其他陶瓷相比,它是一种具有低热膨胀系数的高性能陶瓷,具有出色的耐热冲击性。
由于热膨胀系数低,该材料具有非常高的抗热震性和良好的断裂韧性。 Si3N4 工件耐冲击和冲击。这些工件可承受高达 1400 °C 的工作温度,并且耐化学物质、腐蚀作用、特定熔融金属(如铝)以及酸和碱性溶液。另一个特点是密度低。它的密度低,为 3.2 至 3.3 g/cm3,几乎与铝 (2.7 g/cm3) 一样轻,最大弯曲强度≥900 MPa。
此外,Si3N4 还具有高耐磨性,超过大多数金属的高温性能,例如高温强度和抗蠕变性。它具有优异的抗蠕变性和抗氧化性,并且优于大多数金属的高温能力。得益于其低导热率和强耐磨性,它可以承受最苛刻的工业应用中最恶劣的环境。此外,当需要高温和高负载能力时,氮化硅是一个不错的选择。
● 高断裂韧性
● 良好的抗弯强度
● 极低的密度
● 令人难以置信的强大耐热冲击性
● 氧化气氛下工作温度高
用于制造氮化硅的五种不同工艺导致工作材料和应用略有不同。
SRBSN(反应键合氮化硅)
GPSN(气压烧结氮化硅)
HPSN(热压氮化硅)
HIP-SN(热等静压氮化硅)
RBSN(反应键合氮化硅)
在这五种中,GPSN是最常用的制作方法。
由于其良好的断裂韧性和良好的摩擦学性能,氮化硅陶瓷非常适合用作轻型、超精密轴承、重型陶瓷成型工具和高应力汽车部件的球和滚动元件。此外,焊接技术利用了材料强大的抗热震性和耐高温性。
此外,它很早就被用于高温应用。事实上,它是少数能够承受氢/氧火箭发动机产生的极端热冲击和温度梯度的整体陶瓷材料之一。
目前,氮化硅材料主要用于汽车行业的发动机零件和发动机附件装置,例如用于降低惯性并减少发动机滞后和排放的涡轮增压器、用于更快启动的电热塞、用于提高加速度的废气控制阀以及用于减少磨损的燃气发动机摇臂垫。
由于其独特的电性能,在微电子应用中,氮化硅越来越多地用作集成电路生产中的绝缘体和化学屏障,以实现设备的安全封装。氮化硅用作钝化层,对钠离子和水具有高扩散屏障,钠离子和水是微电子领域腐蚀和不稳定的两个主要原因。在模拟设备的电容器中,该物质还用作多晶硅层之间的电绝缘体。
氮化硅陶瓷是实用材料。每种类型的陶瓷都具有独特的功能,使其可用于各个领域。了解氮化硅陶瓷的多种品种可以轻松地为给定应用选择最佳的一种。