(B4C -Fousing -Ring von produziert vonWinTrustek)
Boran Carbide (B₄C)wird aufgrund seiner Merkmale als außergewöhnlich hartes und träge-resistentes technisches Keramikmaterial angesehen. Aus diesem Grund ist es perfekt, um mit sehr harten Materialien umzugehen, unabhängig davon, ob sie als Sprengdüse fungieren oder in Pulver- oder Paste sind und als Schleif- oder Lädermittel verwendet werden. Produkte aus Borcarbide haben ein sehr langes Lebensdauer, wenig Verschleiß und erschwingliche Preise. Darüber hinaus verwendet neue militärische Geräte leichte Verbundkonstruktionen aus Borkarbid zum ballistischen Schutz. Diese vielseitige Substanz wird auch als Füllstoff verwendet, um beispielsweise die Resistenz eines Materials gegen Verschleiß in Metallen oder Kunststoffen, als Hochtemperatur-Halbleiter oder als Absorber von Neutronen in Kernreaktoren zu steigern.
Bor Carbide CeramicsMit Halbleiterfunktionen und einer starken thermischen Leitfähigkeit können als Hochtemperatur-Halbleiterkomponenten sowie Gasverteilungsscheiben, Fokussierringe, Mikrowellen oder Infrarotfenster sowie DC-Stecker im Halbleitersektor eingesetzt werden. B4C kann in Kombination mit C als strahlungsresistentes thermoelektrisches Element und als Hochtemperatur-Thermoelementelement mit einer Servicetemperatur von bis zu 2300 ° C verwendet werden.
B4C -Fokussierring
Rohstoffe, die im Radschritt der Waferherstellung verwendet werden, sind Fokusringe. Es hält das Wafer stationär, damit die Plasmasdichte erhalten bleibt und die Seitenwände des Wafers vor Kontamination schützt.
In der Vergangenheit wurden Fokusringe aus Silizium und Quarz hergestellt. Die Notwendigkeit jedochSiliziumkarbid (sic)Fokusringe wurden zusammen mit der Verwendung von trockenem Ätzen über nasse Ätzen für fortgeschrittene Waferherstellungen erweitert.
B4C ist genau wie Plasma und hohe Temperaturen, genau wieSic. Da B4C schwieriger ist, können sie für längere Zeiträume pro Einheit verwendet werden.
Hauptmerkmale (B4C -Fokussierring)
