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熱解氮化硼 VGF 坩堝

VGF坩堝是一種用於垂直梯度凍結(VGF)技術合成晶體的容器,例如GaAs、InP、CZGaP和Ge晶體。
  • 高純度99.999%
  • 高結晶率
  • 使用壽命長
  • 優異的熱穩定性
  • 產品信息

Pyrolytic Boron Nitride PBN Products

熱解氮化硼PBN產品

產品概述

熱解氮化硼(PBN)是透過眾所周知的化學氣相沉積(CVD)製程製造的,其中氨氣(NH3)和氣態鹵化硼如三氯化硼(BCI3)在高溫CVD爐中反應沉積PBN 位於適當的基材上,例如熱解石墨。

PBN因其固有的純度、優異的機械性能而被認為是高溫爐和電氣元件、半導體和微波化合物晶體(例如鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)和磷酸銦(InP))的絕佳選擇和物理化學穩定性。 PBN 可承受真空中 1800°C 的溫度和氮氣中 2000°C 的溫度,使其成為熔爐組件和熔化容器的良好選擇。

 

VGF坩堝是一種用於垂直梯度凍結(VGF)技術合成晶體的容器,例如GaAs、InP、CZGaP和Ge晶體。


典型特性

  • 具有六方晶格的層狀結構

  • 垂直於晶體基面的特殊性質

  • 卓越的結構和物理化學穩定性

  • 各向異性結構

  • 高熱穩定性

  • 不潤濕

  • 無毒


典型應用

  • 用於半導體晶體生長的坩堝

  • 用於射頻和微波的波管

  • 窗戶受微波輻射

  • 電絕緣體

 


PBN 產品範圍

PBN 具有獨特的性能和較高的結構和物理化學穩定性,是最佳選擇,因為:


  • 用於垂直梯度冷凍 (VGF) 製程的 PBN 坩堝

  • 用於液體封裝直拉 (LEC) 製程的 PBN 坩堝

  • 用於分子束外延 (MBE) 製程的 PBN 容器

  • 用於化合物半導體和合金加工的PBN船

  • PBN 金屬有機 CVD (MOCVD) 絕緣板和 MBE 絕緣環

  • 高溫真空設備用PBN電氣絕緣套管

  • 螺旋結構的PBN行波管(TWT)

 

GDMS分析

分析元素

結果(μg/g)

分析元素

結果(μg/g)

Li

<0.005

Si

1.7

F

<0.005

CI

<0.005

Na

<0.005

S

<0.005

 



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包裝與運輸

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