（99.8％的氧化鋁晶圓裝載機臂由Wintrustek)

99.8％的氧化鋁陶瓷裝載機臂是半導體製造過程中使用的組件。氧化鋁陶瓷是一種具有出色的電絕緣材料和高導熱率的陶瓷材料，使其適用於各種半導體應用。

陶瓷臂通常用於半導體生產設備，例如晶圓處理機器人和拾取機器。它在生產過程中持有並操縱半導體晶圓。

對於半導體設備的關鍵過程以及在真空，高溫和腐蝕性氣體環境中必須使用的部分，需要清潔無塵的環境。

由99.8％氧化鋁製成的晶圓裝載機安裝在“最終效應器”或晶圓機器人上，並用於將矽晶片移入和退出加工室和盒式盒子。 95％至99.9％的氧化鋁被用作也稱為半導體陶瓷的主要生產材料。晶圓轉移方法需要使用高純氧化鋁陶瓷機械臂，對於精確的加工和材料要求至關重要。

CMP設備中的晶圓被小心地放在拋光頭下方的平台上，然後被機器人牆從晶圓盒中取出。通常，拋光頭充當真空吸附裝置。晶圓通過真空吸附牢固地吸附在拋光頭上，這會導致拋光頭將晶片放在其下方時向下滑動。晶片固定後，拋光頭將其帶到拋光墊上以開始拋光過程。

晶圓處理通常發生在真空環境中以防止污染，並且操縱臂必須非常堅硬，耐磨損和耐溫溫度。氧化鋁陶瓷的物理品質是它厚實，高度硬且高度耐穿。半導體設備機械臂的一種優質材料是具有良好的耐熱性，出色的機械強度，強烈的隔熱性，良好的耐腐蝕性和其他物理品質的材料，即使在高溫環境中也是如此。

99.8％氧化鋁臂的主要特徵

• 氧化鋁是一種非常強大的技術陶瓷，具有出色的耐磨性。

• 通過高精度維度和且容忍度緊縮，很容易實現完美的擬合關係。

• 能夠在還原和氧化環境中耐受高達1650°C的溫度

• 氧化鋁是一種非常強大的技術陶瓷，具有出色的耐磨性。

• 在高溫下對化學腐蝕的耐藥性，化學惰性，對大多數強酸和鹼的抵抗力，而不是生鏽

• 電絕緣：絕緣崩潰至少為18 kV。

• 高溫下的高真空或保護環境用於消除污染物和雜質。

• 與其他陶瓷相比，高級應用的材料成本較低。

總而言之，半導體生產商可以使用氧化鋁陶瓷臂來最大程度地減少製造過程中損害或污染的風險，從而提供脆弱的半導體晶圓器的精確且可靠的處理。