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什麼是熱解氮化硼?
2023-06-13

Pyrolytic Boron Nitride Crucibles

熱解氮化硼坩堝

介紹

熱解 BN 或 PBN 是熱解氮化硼的縮寫。它是一種採用化學氣相沉積(CVD)方法製造的六方氮化硼,也是一種純度極高的氮化硼,純度可達99.99%以上,幾乎無孔隙。


結構

如上所述,熱解氮化硼 (PBN) 是六方晶系的成員。層內原子間距為1.45,層間原子間距為3.33,差異顯著。 PBN的堆疊機制是ababab,其結構分別由層內和沿C軸交替的B和N原子組成。


優勢

PBN 材料具有極強的抗熱衝擊能力,並具有高度各向異性(方向相關)的熱傳輸。此外,PBN 是一種優質的電絕緣體。該物質在惰性、還原性和氧化性氣氛中分別在高達 2800°C 和 850°C 的溫度下保持穩定。

 

在產品方面,PBN 可以形成 2D 或 3D 物體,如坩堝、舟、板、晶片、管和瓶子,也可以用作石墨塗層。在大多數熔融金屬(Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Sn 等)、酸和熱氨的情況下,PBN 在高達 1700°C 的石墨上塗覆時表現出出色的溫度穩定性,可抵抗熱衝擊並抵抗氣體腐蝕。

 

產品

PBN坩堝:PBN坩堝是最適合化合物半導體單晶形成的容器,且不可替代;

在MBE工藝中,它是蒸發元素和化合物的理想容器;

此外,熱解氮化硼坩堝還用作OLED生產線中的蒸發元件容器。

 

  • PG/PBN 加熱器:PBN 加熱器的潛在應用包括 MOCVD 加熱、金屬加熱、蒸發加熱、超導基底加熱、樣品分析加熱、電子顯微鏡樣品加熱、半導體基底加熱等。

     

  • PBN 片/環:PBN 在高溫下具有優異的性能,例如高純度以及能夠在超高真空中承受 2300 °C 的加熱而不分解。此外,它不會排放氣體污染物。這些特性還使得 PBN 能夠被加工成各種幾何形狀。


  • PBN 塗層石墨:PBN 有潛力成為一種有效的氟化鹽潤濕材料,當應用於石墨時,可能會阻止材料之間的相互作用。因此,它經常用於保護機器中的石墨部件。


TFPV 工藝中的 PBN 材料

在 TFPV(薄膜光伏)工藝中使用 PBN 材料有助於降低沉積成本並提高最終光伏電池的效率,使太陽能發電的成本與碳基方法一樣便宜。


結論

許多行業發現熱解氮化硼有大量用途。它的廣泛使用可歸因於其一些出色的品質,包括優異的純度和耐腐蝕性。熱解氮化硼在各個領域的潛在應用仍在研究中。


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