热压烧结是在特定压力下烧结陶瓷的过程。它允许陶瓷同时加热和加压成型,生产出晶粒细、相对密度高、机械性能强的材料。
热压工艺特别适合生产超高温陶瓷 (UHTC),这种材料在标准烧结操作中通常不会烧结成高密度。
多年来,研究人员尝试了多种烧结方法氮化铝并增加其特性。氮化铝表现出共价键合,因此,为了获得全密度,必须在高于1800℃的温度下烧结。因此工业上采用热压来烧结氮化铝不含烧结添加剂。
由于这些特殊特性,热压烧结是提高 AlN 陶瓷强度的常用技术。首先,压力辅助致密化与热压烧结工艺结合进行,有助于制造完全致密化的 AlN 陶瓷。与无压烧结相比,外部压力为致密化提供了额外的推力,将烧结温度降低了大约 50-150 ℃,并限制了大晶粒的形成。
热压氮化铝陶瓷用于要求高电阻、高抗弯强度以及优异导热性的半导体行业。