（99.8％アルミナウェーハローダーアームが生成しますWintrustek)

99.8％のアルミナセラミックローダーアームは、半導体製造プロセスで使用されるコンポーネントです。アルミナセラミックは、優れた電気断熱と高い熱伝導性特性を備えたセラミック材料の一種であり、さまざまな半導体アプリケーションに適しています。

セラミックアームは、ロボットやピックアンドプレイスマシンなどの半導体生産機器で一般的に使用されています。生産プロセス中に半導体ウェーハを保持および操作します。

半導体デバイスの重要なプロセスと、真空、高温、腐食性ガス環境で使用する必要がある部品には、清潔でほこりのない環境が必要です。

99.8％のアルミナで作られたウェーハローダーは、「エンドエフェクター」またはウェーハハンドロボットに取り付けられており、プロセスチャンバーやカセットにシリコンウェーファーを移動するために使用されます。 95％から99.9％酸化アルミニウムは、半導体セラミックとも呼ばれるものの主要生産材料として使用されます。ウェーハ転送方法では、高純度のアルミナセラミックメカニカルアームの使用が必要であり、正確な処理と材料の要件が最重要です。

CMPデバイスのウェーハは、ロボットの壁によってウェーハボックスから取り外された後、研磨頭の下のプラットフォームに注意深く配置されます。通常、研磨ヘッドは真空吸着デバイスとして機能します。ウェーハは、真空吸着を介して研磨頭にしっかりと吸着されているため、ウェーハがその下に配置されると、研磨頭が下にスライドします。ウェーハが固定されると、研磨ヘッドはそれを研磨パッドに持ち込み、研磨プロセスを開始します。

ウエハーの取り扱いは、汚染を防ぐために真空環境でしばしば行われ、取り扱いアームは非常に硬く、耐摩耗性があり、温度耐性がなければなりません。アルミナセラミックの物理的性質は、厚く、非常に硬く、摩耗に対して非常に耐性があることです。半導体機器の優れた材料は、高温環境でも、耐熱性、優れた機械的強度、強力な断熱性、良好な耐食性、その他の物理的品質を備えたものです。

99.8％のアルミナアームの主な機能

• アルミナは、非常に強力な技術セラミックで、卓越した耐摩耗性があります。

• 完璧な適切な関係は、高精度の寸法と耐性を締めることで簡単に達成できます。

• 環境を減少および酸化する際に、1650°Cの高温に耐えることができます

• アルミナは、非常に強力な技術セラミックで、卓越した耐摩耗性があります。

• 高温での化学腐食、化学的不活性、強酸やアルカリの大部分に対する耐性に対する耐性、錆びない

• 電気断熱材：断熱材の分解は少なくとも18 kVです。

• 高温の高い真空または保護環境は、汚染物質と不純物を取り除くために使用されます。

• 他のセラミックと比較して、高レベルのアプリケーションの材料コストは低くなっています。

結論として、半導体生産者は、アルミナセラミックアームを使用して脆弱な半導体ウェーハの正確で信頼できる取り扱いを提供することにより、製造中の損傷または汚染のリスクを最小限に抑えることができます。