（製造されたb4c fousingリングWintrustek)

ボランカーバイド（B₄C）その特性により、非常に硬く耐摩耗性の技術的なセラミック素材と見なされています。このため、爆破ノズルとして作用するように作動するか、粉末または貼り付けの形で、研磨剤またはラッピング剤として使用されているかどうかにかかわらず、非常に硬い材料を処理するのに最適です。炭化ホウ素で作られた製品には、非常に長いサービス寿命、摩耗が少なく、手頃な価格があります。さらに、新しい軍事装備は、弾道保護のために炭化ホウ素で作られた軽量複合構造を使用しています。この汎用性のある物質は、たとえば、金属またはプラスチックでの摩耗、高温半導体、または核原子炉の中性子の吸収体としての材料の耐性を高めるために、フィラーとしても使用されます。

ホウ素炭化物セラミック半導体機能と強力な熱伝導率は、高温半導体成分、ガス分布ディスク、フォーカシングリング、マイクロ波または赤外線窓、およびDCプラグを半導体セクターとして使用できます。 Cと組み合わせると、B4Cは放射線耐性熱電子要素として、また最大2300°Cのサービス温度を持つ高温熱電対要素として利用できます。

B4Cフォーカスリング

ウェーハ製造のエッチングステップで利用される商品は、フォーカスリングです。 プラズマ密度が維持され、ウェーハの側壁が汚染から守られるように、ウェーハを固定します。

過去には、フォーカスリングはシリコンとクォーツで作られていました。ただし、必要性炭化シリコン（原文）フォーカスリングは、高度なウェーハ製造のためのウェットエッチングよりも乾燥エッチングの使用とともに拡張されました。

B4Cは、血漿や高温に耐性があります。sic。 B4Cはより厳しいため、ユニットあたりより長い期間使用できます。

主な機能（B4Cフォーカシングリング）

• 非常に高い硬度

• 電気の指揮

• プラズマの優れた耐摩耗性

• 高い特定の剛性