(99,8% aluminiumoxid wafer loader arm producerad avWittrust)
En 99,8%aluminiumoxid keramisk lastararm är en komponent som används i tillverkningsprocesser för halvledartillverkning. Alumina keramik är en typ av keramiskt material med utmärkt elektrisk isolering och höga värmeledningsegenskaper, vilket gör det lämpligt för olika halvledarapplikationer.
Den keramiska armen används vanligtvis i halvledarproduktionsutrustning såsom skiva som hanterar robotar och pick-and-place-maskiner. Den håller och manipulerar halvledarskivor under produktionsprocessen.
En ren och dammfri miljö är nödvändig för halvledarenheternas avgörande processer samt de delar som måste användas i vakuum, höga temperaturer och frätande gasmiljöer.
Skivlastare gjorda av 99,8% aluminiumoxid är monterade på "sluteffektorer" eller skivra robotar och används för att flytta kiselskivor in i och ut ur processkamrarna och kassetter. 95% till 99,9% aluminiumoxid används som det primära produktionsmaterialet för det som också kallas halvledarkeramik. Skivöverföringsmetoden kräver användning av keramiska mekaniska armar med hög renhet, för vilka exakta bearbetning och materialkrav är av största vikt.
Skivan i CMP -enheten placeras noggrant på plattformen under poleringshuvudet efter att ha tagits bort från skivlådan vid robotväggen. Vanligtvis fungerar poleringshuvudet som en vakuumadsorptionsanordning. Skivan adsorberas fast på poleringshuvudet genom vakuumadsorption, vilket får poleringshuvudet att glida nedåt när skivan placeras under den. När skivan är fäst, tar poleringshuvudet det till poleringsdynan för att påbörja poleringsprocessen.
Skivhantering sker ofta i en vakuummiljö för att förhindra förorening, och hanteringsarmen måste vara extremt hård, slitstöd och temperaturbeständig. De fysiska egenskaperna hos aluminiumoxid keramik är att den är tjock, mycket hård och mycket motståndskraftig mot slitage. Ett utmärkt material för halvledarutrustning Mekaniska armar är ett som har god värmemotstånd, utmärkt mekanisk styrka, stark isolering, god korrosionsmotstånd och andra fysiska egenskaper även i miljöer med högt temperatur.
Huvudfunktionerna på 99,8%aluminiumoxidarm
Alumina är en mycket stark teknisk keramik som har exceptionell slitmotstånd.
Ett felfritt passande förhållande är lätt att uppnå med höga precisionsdimensioner och skärpning av tolerans.
Kunna tolerera temperaturer så höga som 1650 ° C för att minska och oxidera miljöer
Alumina är en mycket stark teknisk keramik som har exceptionell slitmotstånd.
Resistens mot kemisk korrosion vid höga temperaturer, kemisk inerthet, resistens mot majoriteten av starka syror och alkalier och inte rost
Elektrisk isolering: Isoleringsfördelningen är minst 18 kV.
Höga vakuum eller skyddsmiljöer vid höga temperaturer används för att bli av med föroreningar och föroreningar.
Jämfört med annan keramik har den en låg materialkostnad för applikationer på hög nivå.
Avslutningsvis kan halvledarproducenter minimera risken för skador eller föroreningar under tillverkningen genom att använda aluminiumoxid keramiska armar för att ge exakt och pålitlig hantering av bräckliga halvledarskivor.
