Inta badan naqshadaha moduleka awoodda maanta waxay ku saleysan yihiin dhoobada laga sameeyay aluminium oxide (Al2O3) ama AlN, laakiin marka shuruudaha waxqabadku kor u kaco, naqshadeeyayaasha ayaa eegaya substrates kale. Codsiyada EV, tusaale ahaan, khasaaraha beddelka ayaa hoos u dhacaya 10% marka heerkulku ka tago 150°C ilaa 200°C. Intaa waxaa dheer, tignoolajiyada cusub ee baakadaha sida kuwa aan alxanka lahayn iyo kuwa aan xadhiga lahayn ayaa ka dhigaya substrate-yada jira xidhiidhka ugu liita.
Arrin kale oo muhiim ah ayaa ah in alaabtu ay u baahan tahay in ay ku sii jirto xaalad adag, sida kuwa laga helo marawaxadaha dabaysha. Qiyaasta cimriga marawaxadaha dabaysha ee dhammaan xaaladaha deegaanka waa shan iyo toban sano, taasoo ku kaliftay naqshadeeyayaasha codsigan inay raadiyaan tignoolajiyada hoose ee sare.
Kordhinta ka faa'iidaysiga qaybaha SiC waa qodobka saddexaad ee wadista beddelka substrate-ka ee la xoojiyey. Marka la barbardhigo qaybaha caadiga ah, cutubyada SiC ee ugu horreeya ee leh baakadaha ugu fiican waxay muujiyeen hoos u dhac ku yimid 40 ilaa 70 boqolkiiba, laakiin sidoo kale waxay muujiyeen baahida loo qabo farsamooyinka baakadaha cusub, oo ay ku jiraan Si3N4 substrates. Dhammaan damacyadani waxay xaddidi doonaan shaqada mustaqbalka ee Al2O3 iyo AlN substrates, halka substrate-yada ku salaysan Si3N4 ay noqon doonaan walxaha doorashada ee cutubyada awoodda waxqabadka sare ee mustaqbalka.
Silicon nitride (Si3N4) waxay si fiican ugu habboon tahay qalabka elektarooniga ah ee korontada ku shaqeeya sababtoo ah xooggeeda foorarsan ee sarreeya, adkaanta jabka sare, iyo kuleylka kuleylka sarreeya. Astaamaha dhoobada iyo isbarbardhigga doorsoomayaasha muhiimka ah, sida dareeraha qayb ka mid ah ama samaynta dildilaaca, ayaa saamayn weyn ku leh habdhaqanka substrate-ka ugu dambeeya, sida kulaylka kulaylka iyo dhaqanka baaskiilka kulaylka.
Dhaqdhaqaaqa kulaylka, xoogga foorarsiga, iyo adkaanta jabka ayaa ah sifooyinka ugu muhiimsan marka la dooranayo walxaha dahaarka ee qaybaha korantada. Dhaqdhaqaaqa kuleyliyaha sare ayaa lagama maarmaan u ah kala-baxa degdega ah ee kulaylka moduleka tamarta. Xoogga foorarsiga ayaa muhiim u ah sida substrate-ka dhoobada ah loo maareeyo loona isticmaalo inta lagu jiro habka baakaynta, halka adkaanta jabku ay muhiim u tahay in la ogaado sida la isku halayn karo.
Dhaqdhaqaaqa kulaylka hooseeya iyo qiyamka farsamada hooseeya ayaa lagu gartaa Al2O3 (96%). Si kastaba ha noqotee, kuleylka kuleylka 24 W/mK ayaa ku filan inta badan codsiyada warshadaha caadiga ah ee maanta. Heerarka kulaylka sare ee AlN oo ah 180 W/mK ayaa ah faa'iidada ugu weyn, inkastoo la isku halleyn karo dhexdhexaad ah. Tani waa natiijada Al2O3 adkaanshihiisa jabka hooseeya iyo xoogga foorarsiga la midka ah.
Baahida sii kordheysa ee ku-tiirsanaanta weyn waxay keentay horumarkii ugu dambeeyay ee ZTA (zirconia toughened alumina) dhoobada. ceramics-yadani waxay leeyihiin xoog laabasho oo aad uga weyn iyo adkaanta jabka marka loo eego agabka kale. Nasiib darro, kuleylka kuleylka ee ceramics ZTA waxay la mid tahay heerka Al2O3; Natiijo ahaan, isticmaalkooda codsiyada awoodda sare leh ee cufnaanta ugu sarreeya waa la xaddiday.
Halka Si3N4 ay isku darayso hab-dhaqanka kulaylka aadka u wanaagsan iyo waxqabadka farsamada. Heerarka kulaylka waxaa lagu qeexi karaa 90 W/mK, iyo adkaanshaheeda jaban ayaa ah kan ugu sarreeya dhoobada marka la barbardhigo. Tilmaamahani waxay soo jeedinayaan in Si3N4 ay muujin doonto isku halaynta ugu sareysa sida substrate bir ah.
