(99,8% алюминия.WinTrustek)
99,8%глиноземного керамического погрузчика - это компонент, используемый в процессах производства полупроводников. Керамическая алюминия - это тип керамического материала с превосходной электрической изоляцией и высокой теплопроводностью, что делает его подходящим для различных полупроводниковых применений.
Керамическая рука обычно используется в производственном оборудовании с полупроводниковым производством, таким как роботы для обработки пластин и машины для пик и места. Он содержит и манипулирует полупроводниковыми пластинами во время производственного процесса.
Чистая и без пыли необходима для решающих процессов полупроводниковых устройств, а также для деталей, которые должны использоваться в вакууме, высоких температурах и среде коррозийного газа.
Погрузчики пластин, изготовленные из 99,8% глинозем, установлены на «конечных эффекторах» или в передачу роботов и используются для перемещения кремниевых пластин в камеры и кассеты и за его пределами. В качестве основного производственного материала используется оксид алюминия от 95% до 99,9% для полупроводниковой керамики. Метод переноса пластины требует использования глиноземных керамических механических рук с высокой чистотой, для которой точная обработка и требования к материалам имеют первостепенное значение.
Площадь в устройстве CMP тщательно размещена на платформе под полировкой после удаления из ящика для вафель у стены робота. Обычно головка полировки служит вакуумным адсорбционным устройством. Пластина прочно адсорбируется на полировкой через вакуумную адсорбцию, что заставляет полировочную головку скользить вниз, когда вафель расположена под ней. Как только пластина прикреплена, полировка головка приводит ее к полировальной площадке, чтобы начать процесс полировки.
Управление пластинами часто происходит в вакуумной среде, чтобы предотвратить загрязнение, а рука управления должна быть чрезвычайно жесткой, устойчивой к износой и температурной устойчивой. Физические качества глиноземной керамики заключаются в том, что она толстая, очень твердая и очень устойчивая к износу. Отличный материал для полупроводникового оборудования.
Основные особенности 99,8%рука глиняния
Алюминия - очень сильная техническая керамика, которая обладает исключительной устойчивостью к износу.
Безупречные соотношения подгонки легко достичь с высокими размерами точности и ужесточения толерантности.
Способен переносить температуры до 1650 ° C в уменьшении и окислении средств
Алюминия - очень сильная техническая керамика, которая обладает исключительной устойчивостью к износу.
Устойчивость к химической коррозии при высоких температурах, химической инертности, устойчивость к большинству сильных кислот и щелочи, а не ржавчины
Электрическая изоляция: расщепление изоляции составляет не менее 18 кВ.
Высокие вакуумы или защитная среда при высоких температурах используются для избавления от загрязняющих веществ и примесей.
По сравнению с другой керамикой, он имеет низкую стоимость материала для приложений высокого уровня.
В заключение, производители полупроводников могут минимизировать риск повреждения или загрязнения во время производства, используя глиноземные керамические руки, чтобы обеспечить точную и надежную обработку хрупких полупроводников.
