(99,8% ramię ładującego waflowego tlenu wytwarzane przezWintrustek)
99,8%ceramicznego ramienia ładującego tlenku glinu jest składnikiem stosowanym w procesach produkcyjnych półprzewodników. Alumina ceramiczna jest rodzajem materiału ceramicznego o doskonałej izolacji elektrycznej i wysokiej właściwości przewodności cieplnej, dzięki czemu nadaje się do różnych zastosowań półprzewodników.
Ramię ceramiczne jest powszechnie stosowane w półprzewodnikowych sprzętach produkcyjnych, takich jak roboty obsługi płytki i maszyny do wybierania i miejsca. Utrzymuje i manipuluje wafle półprzewodników podczas procesu produkcyjnego.
Czyste i pozbawione kurzu środowisko jest niezbędne do kluczowych procesów urządzeń półprzewodnikowych, a także części, które należy zastosować w próżni, wysokich temperaturach i korozyjnym środowisku gazowym.
Ładowarki waflowe wykonane z 99,8% tlenku glinu są zamontowane na „efektorach końcowych” lub robotach wręczających opłatę i są używane do przenoszenia krzemowych waflów do komory procesowych i kaset. 95% do 99,9% tlenku glinu jest stosowane jako podstawowy materiał produkcyjny dla tego, co jest również określane jako ceramika półprzewodników. Metoda transferu płytki wymaga zastosowania ceramicznych ramion mechanicznych tlenku glinu o wysokiej czystości, dla których precyzyjne wymagania dotyczące przetwarzania i materiału są najważniejsze.
Wafel w urządzeniu CMP jest starannie umieszczany na platformie pod głową polerowania po usunięciu z pudełka opłat przez ścianę robota. Zwykle głowica polerowania służy jako urządzenie do adsorpcji próżniowej. Wafel jest mocno zaadsorbowany na głowicy polerowania przez adsorpcję próżniową, co powoduje zsuwanie się głowicy polerowania w dół, gdy wafel jest umieszczony pod nią. Po przymocowaniu wafla głowica polerowania przenosi ją do podkładki polerowania, aby rozpocząć proces polerowania.
Obsługa wafli często odbywa się w środowisku próżniowym, aby zapobiec zanieczyszczeniu, a ramię obsługi musi być niezwykle twarde, odporne na zużycie i odporne na temperaturę. Fizyczne cechy glinu ceramiczne to to, że jest gęsta, bardzo twarda i wysoce odporna na zużycie. Doskonałym materiałem do ramion mechanicznych urządzeń półprzewodnikowych jest dobra odporność na ciepło, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, silną izolację, dobrą odporność na korozję i inne cechy fizyczne nawet w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Główne cechy 99,8%ramię tlenku glinu
Alumina jest bardzo silną ceramiką techniczną, która ma wyjątkową odporność na zużycie.
Bezbłędny dopasowany związek jest łatwy do osiągnięcia przy wysokich precyzyjnych wymiarach i tolerancji zaostrzenia.
W stanie tolerować temperatury tak wysokie, jak 1650 ° C w środowiskach zmniejszania i utleniania
Alumina jest bardzo silną ceramiką techniczną, która ma wyjątkową odporność na zużycie.
Odporność na korozję chemiczną w wysokich temperaturach, bezwładność chemiczna, odporność na większość silnych kwasów i alkalii, a nie rdzę
Izolacja elektryczna: Rozkład izolacji wynosi co najmniej 18 kV.
Wysokie próżni lub środowiska ochronne w wysokich temperaturach są wykorzystywane do pozbycia się zanieczyszczeń i zanieczyszczeń.
W porównaniu z innymi ceramikami ma niskie koszty materiału dla zastosowań na wysokim poziomie.
Podsumowując, producenci półprzewodników mogą zminimalizować ryzyko uszkodzenia lub zanieczyszczenia podczas produkcji za pomocą ramion ceramicznych tlenku glinu w celu zapewnienia precyzyjnego i niezawodnego obsługi kruchych płytek półprzewodników.
