(99,8% alumina wafer laster arm produsert avWintrustek)
En 99,8%aluminiumoksyd keramisk lasterarm er en komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser. Aluminiumoksyd keramikk er en type keramisk materiale med utmerket elektrisk isolasjon og høye termiske konduktivitetsegenskaper, noe som gjør det egnet for forskjellige halvlederapplikasjoner.
Den keramiske armen er ofte ansatt i halvlederproduksjonsutstyr som wafer-håndtering av roboter og pick-and-place-maskiner. Den holder og manipulerer halvlederskiver under produksjonsprosessen.
Et rent og støvfritt miljø er nødvendig for halvlederenheters avgjørende prosesser så vel som delene som må brukes i vakuum, høye temperaturer og etsende gassmiljøer.
Wafer -lastere laget av 99,8% aluminiumoksyd er montert på "endeffektorer" eller skive som overleverer roboter og brukes til å flytte silisiumskiver inn og ut av prosesskamre og kassetter. 95% til 99,9% aluminiumoksyd brukes som det primære produksjonsmaterialet for det som også omtales som halvleder keramikk. Wafer-overføringsmetoden nødvendiggjør bruk av keramiske armer med høy renhet i aluminiumoksyd, som presis prosessering og materialkrav er av største viktighet.
Skiven i CMP -enheten er nøye plassert på plattformen under poleringshodet etter å ha blitt fjernet fra skiveboksen av robotveggen. Vanligvis fungerer poleringshodet som en vakuumadsorpsjonsenhet. Skiven adsorberes godt på poleringshodet gjennom vakuumadsorpsjon, noe som får poleringshodet til å gli nedover når skiven er plassert under den. Når skiven er festet, bringer poleringshodet det til poleringsputen for å begynne poleringsprosessen.
Skavhåndtering foregår ofte i et vakuummiljø for å forhindre forurensning, og håndteringsarmen må være ekstremt hard, slitasje-motstandsdyktig og temperaturbestandig. De fysiske egenskapene til aluminiumoksyd keramikk er at den er tykk, svært hard og svært motstandsdyktig mot slitasje. Et utmerket materiale for halvlederutstyr Mekaniske armer er et som har god varmebestandighet, utmerket mekanisk styrke, sterk isolasjon, god korrosjonsmotstand og andre fysiske egenskaper selv i miljøer med høy temperatur.
Hovedfunksjonene på 99,8%aluminiumoksyd
Alumina er en veldig sterk teknisk keramikk som har eksepsjonell slitemotstand.
Et feilfritt passende forhold er lett å oppnå med høye presisjonsdimensjoner og stramme toleranse.
I stand til å tåle temperaturer så høye som 1650 ° C i å redusere og oksidere miljøer
Alumina er en veldig sterk teknisk keramikk som har eksepsjonell slitemotstand.
Motstand mot kjemisk korrosjon ved høye temperaturer, kjemisk inerthet, motstand mot flertallet av sterke syrer og alkalier, og ikke rust
Elektrisk isolasjon: Isolasjonsfordelingen er minst 18 kV.
Høye vakuum eller beskyttelsesmiljøer ved høye temperaturer brukes til å bli kvitt forurensninger og urenheter.
Sammenlignet med annen keramikk har det en lav materialkostnad for applikasjoner på høyt nivå.
For å konkludere, kan halvlederprodusenter minimere risikoen for skade eller forurensning under produksjonen ved å bruke keramiske armer for aluminiumoksyd for å gi presis og pålitelig håndtering av skjøre halvlederskiver.
