熱分解窒化ホウ素るつぼ

序章

熱分解 BN または PBN は、熱分解窒化ホウ素の略です。化学蒸着法（CVD）によって生成される六方晶系窒化ホウ素の一種で、99.99％以上に達し、気孔がほとんどない非常に純粋な窒化ホウ素でもあります。

構造

上で説明したように、熱分解窒化ホウ素 (PBN) は六方晶系のメンバーです。層内の原子間隔は 1.45、層間の原子間隔は 3.33 であり、これは大きな違いです。 PBN の積層メカニズムはアババブであり、その構造は層内および C 軸に沿ってそれぞれ交互に配置された B 原子と N 原子で構成されています。

アドバンテージ

PBN 材料は熱衝撃に対して非常に耐性があり、高度に異方性 (方向依存性) の熱伝導を持っています。さらに、PBN は優れた電気絶縁体になります。この物質は、不活性雰囲気、還元雰囲気、酸化雰囲気においてそれぞれ 2800°C および 850°C まで安定です。

製品に関しては、PBN はるつぼ、ボート、プレート、ウエハー、チューブ、ボトルなどの 2D または 3D の物体に成形することも、グラファイトのコーティングとして塗布することもできます。大部分の溶融金属 (Al、Ag、Cu、Ga、Ge、Sn など)、酸、および高温アンモニアでは、PBN がグラファイト上に 1700°C までコーティングされた場合に優れた温度安定性を示し、熱衝撃に強く、ガス腐食にも耐えます。

製品

PBN るつぼ: PBN るつぼは化合物半導体単結晶の形成に最も適した容器であり、交換できません。

MBE プロセスでは、元素や化合物を蒸発させるための理想的な容器です。

また、熱分解窒化ホウ素るつぼは、OLED製造ラインの蒸発素子容器としても利用されています。

• PG/PBN ヒーター: PBN ヒーターの潜在的な用途には、MOCVD 加熱、金属加熱、蒸着加熱、超電導基板加熱、サンプル分析加熱、電子顕微鏡サンプル加熱、半導体基板加熱などが含まれます。

   

• PBN シート/リング: PBN は、高純度であり、超高真空中で分解することなく 2300 °C までの加熱に耐える能力など、高温において優れた特性を備えています。さらに、ガス汚染物質を排出しません。このような種類の特性により、PBN をさまざまな形状に加工することもできます。

  
  

• PBN コーティングされたグラファイト: PBN は効果的なフッ化物塩で湿った材料となる可能性があり、グラファイトに適用すると材料間の相互作用を停止する可能性があります。したがって、機械のグラファイトコンポーネントを保護するためによく使用されます。

TFPV プロセスにおける PBN マテリアル

TFPV（薄膜太陽光発電）プロセスで PBN 材料を利用すると、成膜コストが削減され、結果として得られる PV 電池の効率が向上し、炭素ベースの方法と同じくらい安価に太陽光発電を製造できます。

結論

多くの産業では、熱分解窒化ホウ素がかなりの用途に使用されています。広く使用されているのは、優れた純度や耐食性などの優れた品質によるものと考えられます。熱分解窒化ホウ素のさまざまな分野での応用の可能性は依然として研究されています。