(99,8% lengan loader wafer alumina yang diproduksi olehWintrustek)
Lengan loader keramik alumina 99,8%adalah komponen yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Keramik alumina adalah jenis bahan keramik dengan isolasi listrik yang sangat baik dan sifat konduktivitas termal yang tinggi, membuatnya cocok untuk berbagai aplikasi semikonduktor.
Lengan keramik umumnya digunakan dalam peralatan produksi semikonduktor seperti robot penanganan wafer dan mesin pick-and-place. Ini memegang dan memanipulasi wafer semikonduktor selama proses produksi.
Lingkungan yang bersih dan bebas debu diperlukan untuk proses penting perangkat semikonduktor serta bagian-bagian yang harus digunakan dalam ruang hampa, suhu tinggi, dan lingkungan gas korosif.
Wafer loader yang terbuat dari 99,8% alumina dipasang pada "efektor akhir" atau robot yang menyerahkan wafer dan digunakan untuk memindahkan wafer silikon ke dalam dan keluar dari ruang proses dan kaset. 95% hingga 99,9% aluminium oksida digunakan sebagai bahan produksi utama untuk apa yang juga disebut sebagai keramik semikonduktor. Metode transfer wafer mengharuskan penggunaan lengan mekanik keramik alumina dengan kemurnian tinggi, yang persyaratan pemrosesan dan material yang tepat adalah yang terpenting.
Wafer di perangkat CMP ditempatkan dengan hati -hati di platform di bawah kepala pemolesan setelah dilepas dari kotak wafer di dekat dinding robot. Biasanya, kepala pemolesan berfungsi sebagai perangkat adsorpsi vakum. Wafer teradsorpsi dengan kuat pada kepala pemolesan melalui adsorpsi vakum, yang menyebabkan kepala pemolesan meluncur ke bawah ketika wafer ditempatkan di bawahnya. Setelah wafer diikat, kepala pemolesan membawanya ke bantalan pemolesan untuk memulai proses pemolesan.
Penanganan wafer sering terjadi di lingkungan ruang hampa untuk mencegah kontaminasi, dan lengan penanganan harus sangat keras, tahan terhadap keausan, dan tahan suhu. Kualitas fisik keramik alumina adalah bahwa itu tebal, sangat keras, dan sangat tahan untuk dipakai. Bahan yang sangat baik untuk peralatan semikonduktor lengan mekanik adalah salah satu yang memiliki ketahanan panas yang baik, kekuatan mekanik yang sangat baik, isolasi yang kuat, ketahanan korosi yang baik, dan kualitas fisik lainnya bahkan di lingkungan suhu tinggi.
Fitur utama lengan alumina 99,8%
Alumina adalah keramik teknis yang sangat kuat yang memiliki ketahanan aus yang luar biasa.
Hubungan pemasangan tanpa cacat mudah dicapai dengan dimensi presisi tinggi dan toleransi pengetatan.
Mampu mentolerir suhu setinggi 1650 ° C dalam lingkungan mengurangi dan pengoksidasi
Alumina adalah keramik teknis yang sangat kuat yang memiliki ketahanan aus yang luar biasa.
Resistensi terhadap korosi kimia pada suhu tinggi, inertness kimia, resistensi terhadap sebagian besar asam dan alkali yang kuat, dan tidak berkarat
Insulasi Listrik: Kerusakan isolasi setidaknya 18 kV.
Vakuum tinggi atau lingkungan pelindung pada suhu tinggi digunakan untuk menyingkirkan kontaminan dan kotoran.
Dibandingkan dengan keramik lainnya, ia memiliki biaya material yang rendah untuk aplikasi tingkat tinggi.
Untuk menyimpulkan, produsen semikonduktor dapat meminimalkan risiko kerusakan atau kontaminasi selama pembuatan dengan menggunakan lengan keramik alumina untuk memberikan penanganan wafer semikonduktor yang rapuh.
