Boron carbide di semikonduktor

2025-01-08

Boron Carbide in Semiconductor

(B4C Fousing Ring yang diproduksi olehWintrustek)

Boran carbide (B₄C)dianggap sebagai bahan keramik teknis yang sangat keras dan tahan aus karena karakteristiknya. Karena itu, sangat cocok untuk menangani bahan yang sangat sulit, apakah mereka disinter untuk bertindak sebagai nosel peledakan atau dalam bentuk bubuk atau pasta dan digunakan sebagai agen abrasif atau menjilat. Produk yang terbuat dari boron carbide memiliki umur layanan yang sangat panjang, sedikit keausan, dan harga yang terjangkau. Selain itu, peralatan militer baru menggunakan konstruksi komposit ringan yang terbuat dari boron karbida untuk perlindungan balistik. Zat serbaguna ini juga digunakan sebagai pengisi, misalnya, untuk meningkatkan resistensi material terhadap keausan dalam logam atau plastik, sebagai semikonduktor suhu tinggi, atau sebagai peredam neutron dalam reaktor nuklir.

Keramik Boron CarbideDengan kemampuan semikonduktor dan konduktivitas termal yang kuat dapat digunakan sebagai komponen semikonduktor suhu tinggi, serta disk distribusi gas, cincin fokus, jendela microwave atau inframerah, dan colokan DC di sektor semikonduktor. Ketika dipasangkan dengan C, B4C dapat digunakan sebagai elemen termoelektrik yang tahan radiasi dan sebagai elemen termokopel suhu tinggi dengan suhu servis hingga 2300 ° C.

B4C Fokus Fokus

Komoditas yang digunakan dalam langkah etsa pembuatan wafer adalah cincin fokus. Ini menjaga stasioner wafer sehingga kepadatan plasma dipertahankan dan melindungi dinding samping wafer dari kontaminasi.

Di masa lalu, cincin fokus terbuat dari silikon dan kuarsa. Namun, kebutuhan untuksilikon karbida (sic)Cincin fokus diperluas bersama dengan penggunaan etsa kering di atas etsa basah untuk fabrikasi wafer canggih.

B4C tahan terhadap plasma dan suhu tinggi, seperti halnyaSic. Karena B4C lebih keras, mereka dapat digunakan untuk jangka waktu yang lebih lama per unit.

Fitur Utama (B4C Fokus Cincin)