(Bras de chargeur à plateau en alumine à 99,8% produit parGardien)
Un bras de chargeur en céramique en alumine à 99,8% est un composant utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. La céramique en alumine est un type de matériau en céramique avec une excellente isolation électrique et des propriétés de conductivité thermique élevées, ce qui le rend adapté à diverses applications semi-conductrices.
Le bras en céramique est couramment utilisé dans des équipements de production de semi-conducteurs tels que les robots de manipulation de plaquettes et les machines à pick-and-place. Il détient et manipule des plaquettes de semi-conducteur pendant le processus de production.
Un environnement propre et sans poussière est nécessaire pour les processus cruciaux des appareils semi-conducteurs ainsi que pour les pièces qui doivent être utilisées dans le vide, les températures élevées et les environnements de gaz corrosifs.
Les chargeurs de plaquettes en alumine à 99,8% sont montés sur des «effecteurs finaux» ou des robots à la remise des plaquettes et sont utilisés pour déplacer des plaquettes de silicium dans et hors du processus des chambres et des cassettes. 95% à 99,9% d'oxyde d'aluminium est utilisé comme matériau de production principal pour ce qui est également appelé céramique semi-conducteur. La méthode de transfert de plaquette nécessite l'utilisation de bras mécaniques en céramique d'alumine de haute pureté, pour lesquels un traitement précis et les exigences des matériaux sont primordiaux.
La tranche dans le dispositif CMP est soigneusement placée sur la plate-forme sous la tête de polissage après avoir été retirée de la boîte de la plaquette par le mur du robot. Habituellement, la tête de polissage sert de dispositif d'adsorption de vide. La tranche est fermement adsorbée sur la tête de polissage par adsorption de vide, ce qui fait que la tête de polissage glisse vers le bas lorsque la plaquette est placée en dessous. Une fois la plaquette fixée, la tête de polissage l'amène au coussin de polissage pour commencer le processus de polissage.
La manipulation des plaquettes a souvent lieu dans un environnement sous vide pour éviter la contamination, et le bras de manipulation doit être extrêmement dur, résistant à l'usure et résistant à la température. Les qualités physiques de la céramique en alumine sont qu'elle est épaisse, très dure et très résistante à l'usure. Un excellent matériau pour l'équipement semi-conducteur bras mécaniques est celui qui a une bonne résistance à la chaleur, une excellente résistance mécanique, une forte isolation, une bonne résistance à la corrosion et d'autres qualités physiques même dans des environnements à haute température.
Les principales caractéristiques du bras d'alumine à 99,8%
L'alumine est une céramique technique très forte qui a une résistance à l'usure exceptionnelle.
Une relation d'ajustement impeccable est facile à réaliser avec des dimensions de haute précision et un resserrement de la tolérance.
Capable de tolérer des températures aussi élevées que 1650 ° C dans des environnements de réduction et d'oxydation
L'alumine est une céramique technique très forte qui a une résistance à l'usure exceptionnelle.
Résistance à la corrosion chimique à des températures élevées, à une inertie chimique, à la résistance à la majorité des acides et alcalis puissants, et non à la rouille
Isolation électrique: la dégradation de l'isolation est d'au moins 18 kV.
Des aspirateurs élevés ou des environnements protecteurs à des températures élevées sont utilisés pour se débarrasser des contaminants et des impuretés.
Par rapport à d'autres céramiques, il a un faible coût de matériau pour les applications de haut niveau.
Pour conclure, les producteurs de semi-conducteurs peuvent minimiser le risque de dommages ou de contamination lors de la fabrication en utilisant des bras céramiques d'alumine pour fournir une manipulation précise et fiable des plaquettes de semi-conducteurs fragiles.
