(99.8% brazo de cargador de obleas de alúmina producido porWintrustek)
Un brazo de cargador de cerámica de alúmina del 99.8%es un componente utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores. La cerámica de alúmina es un tipo de material cerámico con excelente aislamiento eléctrico y alta propiedad de conductividad térmica, lo que lo hace adecuado para varias aplicaciones de semiconductores.
El brazo de cerámica se emplea comúnmente en equipos de producción de semiconductores, como los robots de manejo de obleas y máquinas de selección y lugar. Sostiene y manipula obleas de semiconductores durante el proceso de producción.
Es necesario un ambiente limpio y libre de polvo para los procesos cruciales de los dispositivos de semiconductores, así como para las piezas que deben emplearse en el vacío, las altas temperaturas y los ambientes de gas corrosivo.
Los cargadores de obleas hechas de alúmina del 99.8% están montados en "efectores finales" o robots de entrega de obleas y se utilizan para mover obleas de silicio dentro y fuera de las cámaras y casetes de proceso. El 95% a 99.9% de óxido de aluminio se usa como material de producción primario para lo que también se conoce como cerámica semiconductora. El método de transferencia de obleas requiere el uso de brazos mecánicos cerámicos de alúmina de alta pureza, para los cuales el procesamiento preciso y los requisitos de material son primordiales.
La oblea en el dispositivo CMP se coloca cuidadosamente en la plataforma debajo de la cabeza de pulido después de ser retirada de la caja de obleas por la pared del robot. Por lo general, el cabezal de pulido sirve como un dispositivo de adsorción de vacío. La oblea está firmemente adsorbida en la cabeza de pulido a través de la adsorción de vacío, lo que hace que la cabeza de pulido se deslice hacia abajo cuando la oblea se coloca debajo. Una vez que la oblea está sujeta, el cabezal de pulido lo lleva a la almohadilla de pulido para comenzar el proceso de pulido.
El manejo de la oblea a menudo tiene lugar en un entorno de vacío para evitar la contaminación, y el brazo de manejo debe ser extremadamente duro, resistente al desgaste y resistente a la temperatura. Las cualidades físicas de la cerámica de alúmina son que es gruesa, altamente dura y muy resistente al desgaste. Un material excelente para los brazos mecánicos de equipos semiconductores es aquel que tiene una buena resistencia al calor, una excelente resistencia mecánica, aislamiento fuerte, buena resistencia a la corrosión y otras cualidades físicas incluso en ambientes de alta temperatura.
Las principales características del 99.8%de brazo de alúmina
La alúmina es una cerámica técnica muy fuerte que tiene una resistencia al desgaste excepcional.
Una relación de ajuste impecable es fácil de lograr con dimensiones de alta precisión y tolerancia al endurecimiento.
Capaz de tolerar temperaturas tan altas como 1650 ° C en ambientes reductores y oxidantes
La alúmina es una cerámica técnica muy fuerte que tiene una resistencia al desgaste excepcional.
Resistencia a la corrosión química a altas temperaturas, inercia química, resistencia a la mayoría de los ácidos y álcalies fuertes, y no a la óxido
Aislamiento eléctrico: la descomposición del aislamiento es de al menos 18 kV.
Se utilizan altas aspiradoras o entornos protectores a altas temperaturas para deshacerse de los contaminantes e impurezas.
En comparación con otras cerámicas, tiene un bajo costo de material para aplicaciones de alto nivel.
Para concluir, los productores de semiconductores pueden minimizar el riesgo de daño o contaminación durante la fabricación mediante el uso de brazos de cerámica de alúmina para proporcionar un manejo preciso y confiable de obleas semiconductores frágiles.
