דערווייַל, די גראָוינג קלאַמער פֿאַר ינווייראַנמענאַל שוץ און ענערגיע קאַנסערוויישאַן האט געבראכט דינער נייַ ענערגיע עלעקטריק וועהיקלעס אין די ליימלייט. הויך מאַכט פּעקל דעוויסעס שפּילן אַ באַשטימענדיק ראָלע אין רעגיאַלייטינג די גיכקייַט פון די פאָרמיטל און סטאָרינג קאַנווערטינג אַק און דק. די הויך-אָפטקייַט טערמאַל סייקלינג האט שטרענג רעקווירעמענץ פֿאַר די היץ דיסיפּיישאַן פון עלעקטראָניש פּאַקקאַגינג, בשעת די קאַמפּלעקסיטי און דייווערסיטי פון די ארבעטן סוויווע דאַרפן פּאַקקאַגינג מאַטעריאַלס צו האָבן אַ גוט טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און הויך שטאַרקייַט צו שפּילן אַ שטיצן ראָלע. אין אַדישאַן, מיט די גיך אַנטוויקלונג פון מאָדערן מאַכט עלעקטראָניק טעכנאָלאָגיע, וואָס איז קעראַקטערייזד דורך הויך וואָולטידזש, הויך קראַנט און הויך אָפטקייַט, די היץ דיסיפּיישאַן עפעקטיווקייַט פון מאַכט מאַדזשולז געווענדט צו דעם טעכנאָלאָגיע איז געווארן מער קריטיש. די סעראַמיק סאַבסטרייט מאַטעריאַלס אין עלעקטראָניש פּאַקקאַגינג סיסטעמען זענען דער שליסל צו עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן, זיי אויך האָבן הויך שטאַרקייַט און רילייאַבילאַטי אין ענטפער צו די קאַמפּלעקסיטי פון די אַרבעט סוויווע. די הויפּט סעראַמיק סאַבסטרייץ וואָס האָבן שוין מאַסע-געשאפן און וויידלי געניצט אין די לעצטע יאָרן זענען Al2O3, BeO, SiC, Si3N4, AlN, עטק.

Al2O3 סעראַמיק פיעסעס אַ וויכטיק ראָלע אין די היץ דיסיפּיישאַן סאַבסטרייט אינדוסטריע באזירט אויף זיין פּשוט צוגרייטונג פּראָצעס, גוט ינסאַליישאַן און הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל. אָבער, די נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון Al2O3 קען נישט טרעפן די אַנטוויקלונג רעקווירעמענץ פון הויך מאַכט און הויך וואָולטידזש מיטל, און עס איז בלויז אָנווענדלעך צו די אַרבעט סוויווע מיט נידעריק היץ דיסיפּיישאַן באדערפענישן. דערצו, די נידעריק בענדינג שטאַרקייַט אויך לימאַץ די אַפּלאַקיישאַן פאַרנעם פון אַל2אָ3 סעראַמיקס ווי היץ דיסיפּיישאַן סאַבסטרייץ.

בעאָ סעראַמיק סאַבסטרייץ האָבן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און נידעריק דיעלעקטריק קעסיידערדיק צו טרעפן די רעקווירעמענץ פון עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן. אָבער עס איז נישט קאַנדוסיוו צו גרויס-וואָג אַפּלאַקיישאַן ווייַל פון זייַן טאַקסיסאַטי, וואָס אַפעקץ די געזונט פון טוערס.

AlN סעראַמיק איז גערעכנט ווי אַ קאַנדידאַט מאַטעריאַל פֿאַר היץ דיסיפּיישאַן סאַבסטרייט רעכט צו זיין הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי. אָבער AlN סעראַמיק האט נעבעך טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל, גרינג דעליקוועסענסע, נידעריק שטאַרקייַט און טאַפנאַס, וואָס איז נישט קאַנדוסיוו צו אַרבעטן אין אַ קאָמפּלעקס סוויווע, און עס איז שווער צו ענשור די רילייאַבילאַטי פון אַפּלאַקיישאַנז.

SiC סעראַמיק האט הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, רעכט צו זיין הויך דיעלעקטריק אָנווער און נידעריק ברייקדאַון וואָולטידזש, עס איז נישט פּאַסיק פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז אין הויך אָפטקייַט און וואָולטידזש אַפּערייטינג ינווייראַנמאַנץ.

Si3N4 איז אנערקענט ווי דער בעסטער סעראַמיק סאַבסטרייט מאַטעריאַל מיט הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך רילייאַבילאַטי אין שטוב און אין אויסלאנד. כאָטש די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייט איז אַ ביסל נידעריקער ווי די פון AlN, די פלעקסוראַל שטאַרקייַט און בראָך טאַפנאַס קענען דערגרייכן מער ווי צוויי מאָל אַז פון AlN. דערווייַל, די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון Si3N4 סעראַמיק איז פיל העכער ווי די פון Al2O3 סעראַמיק. אין אַדישאַן, דער קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן פון Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייץ איז נאָענט צו די פון SiC קריסטאַלז, די 3 דור סעמיקאַנדאַקטער סאַבסטרייט, וואָס ינייבאַלז עס מער סטאַביל צו גלייַכן מיט SiC קריסטאַל מאַטעריאַל. עס מאכט Si3N4 די בילכער מאַטעריאַל פֿאַר הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי סאַבסטרייץ פֿאַר 3 דור סיק סעמיקאַנדאַקטער מאַכט דעוויסעס.