רובֿ מאַכט מאָדולע דיזיינז הייַנט זענען באזירט אויף סעראַמיקס געמאכט פון אַלומינום אַקסייד (Al2O3) אָדער AlN, אָבער ווי פאָרשטעלונג רעקווירעמענץ העכערונג, דיזיינערז קוקן אין אנדערע סאַבסטרייץ. אין EV אַפּלאַקיישאַנז, פֿאַר בייַשפּיל, סוויטשינג לאָססעס פאַלן מיט 10% ווען די שפּאָן טעמפּעראַטור גייט פון 150 ° C צו 200 ° C. אין אַדישאַן, נייַע פּאַקקאַגינג טעקנאַלאַדזשיז אַזאַ ווי סאַדער-פריי מאַדזשולז און דראָט-בונד-פריי מאַדזשולז מאַכן די יגזיסטינג סאַבסטרייץ די וויקאַסט לינק.

אן אנדער וויכטיק פאַקטאָר איז אַז דער פּראָדוקט דאַרף צו האַלטן מער אין האַרב טנאָים, ווי די געפֿונען אין ווינט טערביינז. די עסטימאַטעד לעבן פון ווינט טערביינז אונטער אַלע ינווייראַנמענאַל טנאָים איז פופצן יאָר, פּראַמפּטינג די דיזיינערז פון דעם אַפּלאַקיישאַן צו זוכן העכער סאַבסטרייט טעקנאַלאַדזשיז.

ינקרעאַסינג יוטאַלאַזיישאַן פון SiC קאַמפּאָונאַנץ איז אַ דריט פאַקטאָר דרייווינג ענכאַנסט סאַבסטרייט אַלטערנאַטיוועס. אין פאַרגלייַך מיט קאַנווענשאַנאַל מאַדזשולז, דער ערשטער SiC מאַדזשולז מיט אָפּטימאַל פּאַקקאַגינג דעמאַנסטרייטיד אַ אָנווער רעדוקציע פון ​​40 צו 70 פּראָצענט, אָבער אויך דעמאַנסטרייטיד די נויטיק פֿאַר ינאַווייטיוו פּאַקידזשינג טעקניקס, אַרייַנגערעכנט Si3N4 סאַבסטרייץ. אַלע די טענדאַנסיז וועט באַגרענעצן די צוקונפֿט פונקציאָנירן פון טראדיציאנעלן Al2O3 און AlN סאַבסטרייץ, כוועראַז סאַבסטרייץ באזירט אויף Si3N4 וועט זיין די ברירה פון מאַטעריאַל פֿאַר צוקונפֿט הויך-פאָרשטעלונג מאַכט מאַדזשולז.

סיליציום ניטרידע (Si3N4) איז געזונט סוטאַד פֿאַר מאַכט עלעקטראָניש סאַבסטרייץ רעכט צו זייַן העכער בענדינג שטאַרקייַט, הויך בראָך טאַפנאַס און הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי. די פֿעיִקייטן פון די סעראַמיק און אַ פאַרגלייַך פון קריטיש וועריאַבאַלז, אַזאַ ווי פּאַרטיייש אָפּזאָגן אָדער פּלאַצן פאָרמירונג, האָבן אַ הויפּט ווירקונג אויף די לעצט סאַבסטרייט נאַטור, אַזאַ ווי היץ קאַנדאַקטיוואַטי און טערמאַל סייקלינג נאַטור.

טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, בענדינג שטאַרקייַט און בראָך טאַפנאַס זענען די מערסט וויכטיק פּראָפּערטיעס ווען סעלינג ינסאַלייטינג מאַטעריאַלס פֿאַר מאַכט מאַדזשולז. הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי איז יקערדיק פֿאַר די גיך דיסיפּיישאַן פון היץ אין אַ מאַכט מאָדולע. די בענדינג שטאַרקייַט איז וויכטיק פֿאַר ווי די סעראַמיק סאַבסטרייט איז כאַנדאַלד און געוויינט בעשאַס די פּאַקקאַגינג פּראָצעס, בשעת די בראָך טאַפנאַס איז וויכטיק פֿאַר פיגורינג אויס ווי פאַרלאָזלעך עס וועט זיין.

נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און נידעריק מעטשאַניקאַל וואַלועס קעראַקטערייז אַל2אָ3 (96%). אָבער, די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון 24 וו / מק איז טויגן פֿאַר די מערהייַט פון נאָרמאַל ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז פון דעם טאָג. AlN ס הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון 180 וו / מק איז זייַן גרעסטע מייַלע, טראָץ זייַן מעסיק רילייאַבילאַטי. דאָס איז דער רעזולטאַט פון אַל2אָ3 ס נידעריק בראָך טאַפנאַס און פאַרגלייַכלעך בענדינג שטאַרקייַט.

די ינקריסינג פאָדערונג פֿאַר גרעסערע פאַרלאָזלעך געפירט צו די לעצטע אַדוואַנטידזשיז אין ZTA (זירקאָניאַ טאַפיינד אַלומינאַ) סעראַמיקס. די סעראַמיקס האָבן באטייטיק גרעסער בענדינג שטאַרקייַט און בראָך טאַפנאַס ווי אנדערע מאַטעריאַלס. צום באַדויערן, די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון זטאַ סעראַמיקס איז פאַרגלייַכלעך צו אַז פון נאָרמאַל אַל2אָ3; ווי אַ רעזולטאַט, זייער נוצן אין הויך-מאַכט אַפּלאַקיישאַנז מיט די העכסטן מאַכט דענסאַטיז איז לימיטעד.

בשעת Si3N4 קאַמביינז ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און מעטשאַניקאַל פאָרשטעלונג. די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי קענען זיין ספּעסיפיעד ביי 90 וו / מק, און זייַן בראָך טאַפנאַס איז די העכסטן צווישן די קאַמפּערד סעראַמיקס. די קעראַקטעריסטיקס פֿאָרשלאָגן אַז Si3N4 וועט ויסשטעלונג די העכסטן רילייאַבילאַטי ווי אַ מעטאַליזעד סאַבסטרייט.