(99,8% cánh tay tải wafer alumina được sản xuất bởiWintrustek)
Một cánh tay tải gốm alumina 99,8%là một thành phần được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Alumina gốm là một loại vật liệu gốm với chất cách điện tuyệt vời và tính chất dẫn nhiệt cao, làm cho nó phù hợp cho các ứng dụng bán dẫn khác nhau.
Cánh tay gốm thường được sử dụng trong các thiết bị sản xuất bán dẫn như robot xử lý wafer và máy chọn và máy. Nó giữ và thao tác các tấm phao bán dẫn trong quá trình sản xuất.
Một môi trường sạch sẽ và không có bụi là cần thiết cho các quy trình quan trọng của các thiết bị bán dẫn cũng như các bộ phận phải được sử dụng trong chân không, nhiệt độ cao và môi trường khí ăn mòn.
Các bộ tải wafer được làm từ 99,8% alumina được gắn trên "các hiệu ứng cuối" hoặc robot bàn tay wafer và được sử dụng để di chuyển các tấm silicon vào và ra khỏi buồng xử lý và băng cassette. 95% đến 99,9% oxit nhôm được sử dụng làm vật liệu sản xuất chính cho những gì còn được gọi là gốm sứ bán dẫn. Phương pháp chuyển wafer đòi hỏi phải sử dụng các nhánh cơ học gốm alumina tinh khiết cao, trong đó các yêu cầu xử lý và vật liệu chính xác là tối quan trọng.
Wafer trong thiết bị CMP được đặt cẩn thận trên nền tảng bên dưới đầu đánh bóng sau khi được xóa khỏi hộp wafer bằng tường robot. Thông thường, đầu đánh bóng phục vụ như một thiết bị hấp phụ chân không. Các wafer được hấp phụ chắc chắn trên đầu đánh bóng thông qua sự hấp phụ chân không, khiến đầu đánh bóng trượt xuống dưới khi wafer được đặt bên dưới nó. Khi wafer được gắn chặt, đầu đánh bóng sẽ mang nó đến miếng đánh bóng để bắt đầu quá trình đánh bóng.
Xử lý wafer thường diễn ra trong môi trường chân không để ngăn ngừa ô nhiễm và cánh tay xử lý phải cực kỳ khó khăn, chống mài mòn và chống nhiệt độ. Chất lượng thể chất của gốm alumina là nó dày, rất cứng và có khả năng chống mòn cao. Một vật liệu tuyệt vời cho các thiết bị bán dẫn cánh tay cơ học là một vật liệu có khả năng chống nhiệt tốt, cường độ cơ học tuyệt vời, cách nhiệt mạnh, khả năng chống ăn mòn tốt và các phẩm chất vật lý khác ngay cả trong môi trường nhiệt độ cao.
Các tính năng chính của cánh tay Alumina 99,8%
Alumina là một loại gốm kỹ thuật rất mạnh có khả năng chống mài mòn đặc biệt.
Một mối quan hệ phù hợp hoàn hảo là dễ dàng để đạt được với kích thước chính xác cao và thắt chặt khả năng chịu đựng.
Có thể chịu được nhiệt độ cao tới 1650 ° C trong việc giảm và oxy hóa môi trường
Alumina là một loại gốm kỹ thuật rất mạnh có khả năng chống mài mòn đặc biệt.
Khả năng chống ăn mòn hóa học ở nhiệt độ cao, trơ hóa hóa học, khả năng chống lại phần lớn các axit và kiềm mạnh mẽ, và không rỉ sét
Cách điện điện: Sự cố cách nhiệt ít nhất là 18 kV.
Máy hút bụi cao hoặc môi trường bảo vệ ở nhiệt độ cao được sử dụng để loại bỏ các chất gây ô nhiễm và tạp chất.
So với các loại gốm khác, nó có chi phí vật liệu thấp cho các ứng dụng cấp cao.
Để kết luận, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể giảm thiểu nguy cơ thiệt hại hoặc ô nhiễm trong quá trình sản xuất bằng cách sử dụng cánh tay gốm alumina để cung cấp xử lý chính xác và đáng tin cậy của các tấm bán dẫn mỏng manh.
