Boron cacbua trong chất bán dẫn

2025-01-08

Boron Carbide in Semiconductor

(Vòng b4c được sản xuất bởiWintrustek)

Boran Carbide (B₄C)được coi là một vật liệu gốm kỹ thuật đặc biệt cứng và chống mài mòn do đặc điểm của nó. Bởi vì điều này, nó hoàn hảo để xử lý các vật liệu rất cứng, cho dù chúng bị thiêu kết để hoạt động như một vòi phun hoặc có dạng bột hoặc dán và được sử dụng như một chất mài mòn hoặc gây ra. Các sản phẩm làm từ boron cacbua có tuổi thọ rất dài, ít hao mòn và giá cả phải chăng. Ngoài ra, thiết bị quân sự mới sử dụng các công trình tổng hợp nhẹ làm bằng cacbua boron để bảo vệ đạn đạo. Chất đa năng này cũng được sử dụng làm chất độn, ví dụ, để tăng khả năng chống mài mòn của vật liệu trong kim loại hoặc nhựa, như chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, hoặc là chất hấp thụ neutron trong lò phản ứng hạt nhân.

Boron cacbua gốmVới khả năng bán dẫn và độ dẫn nhiệt mạnh có thể được sử dụng làm thành phần bán dẫn nhiệt độ cao, cũng như các đĩa phân phối khí, vòng tập trung, lò vi sóng hoặc cửa sổ hồng ngoại và phích cắm DC trong lĩnh vực bán dẫn. Khi được kết hợp với C, B4C có thể được sử dụng làm nguyên tố nhiệt điện chống bức xạ và là nguyên tố cặp nhiệt độ nhiệt độ cao với nhiệt độ dịch vụ lên tới 2300 ° C.

Vòng tập trung B4C

Hàng hóa được sử dụng trong bước khắc của sản xuất wafer là các vòng tập trung. Nó giữ cho các wafer đứng yên để mật độ plasma được duy trì và che chắn các bên của wafer khỏi bị ô nhiễm.

Trong quá khứ, các vòng tập trung được làm bằng silicon và thạch anh. Tuy nhiên, nhu cầuCarbide silicon (sic)Các vòng tập trung được mở rộng cùng với việc sử dụng khắc khô trên khắc ướt cho các chế tạo wafer tiên tiến.

B4C có khả năng kháng huyết tương và nhiệt độ cao, giống nhưSic. Bởi vì B4C khó khăn hơn, chúng có thể được sử dụng trong thời gian dài hơn mỗi đơn vị.

Các tính năng chính (vòng tập trung B4C)