(99.8% อลูมินาเวเฟอร์โหลดแขนที่ผลิตโดยWintrustek)
แขนโหลดเซรามิกอลูมินา 99.8%เป็นส่วนประกอบที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อลูมินาเซรามิกเป็นวัสดุเซรามิกชนิดหนึ่งที่มีฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและคุณสมบัติการนำความร้อนสูงทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ
แขนเซรามิกมักใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เช่นหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์และเครื่องหยิบและสถานที่ มันถือและจัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต
สภาพแวดล้อมที่สะอาดและปราศจากฝุ่นเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เช่นเดียวกับชิ้นส่วนที่ต้องใช้ในสุญญากาศอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมก๊าซกัดกร่อน
Wafer Loaders ที่ทำจากอลูมินา 99.8% ติดตั้งบน "เอฟเฟกต์สิ้นสุด" หรือหุ่นยนต์ที่ส่งเวเฟอร์และใช้ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าและออกจากห้องกระบวนการและคาสเซ็ต อลูมิเนียมออกไซด์ 95% ถึง 99.9% ใช้เป็นวัสดุการผลิตหลักสำหรับสิ่งที่เรียกว่าเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ วิธีการถ่ายโอนเวเฟอร์จำเป็นต้องใช้แขนเครื่องจักรกลเซรามิกของอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งการประมวลผลและความต้องการวัสดุที่แม่นยำเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง
เวเฟอร์ในอุปกรณ์ CMP ถูกวางไว้บนแพลตฟอร์มใต้หัวขัดหลังจากถูกลบออกจากกล่องเวเฟอร์โดยผนังหุ่นยนต์ โดยปกติแล้วหัวขัดจะทำหน้าที่เป็นอุปกรณ์ดูดซับสูญญากาศ เวเฟอร์ถูกดูดซับไว้อย่างแน่นหนาบนหัวขัดผ่านการดูดซับสูญญากาศซึ่งทำให้หัวขัดเงาเลื่อนลงเมื่อแผ่นเวเฟอร์อยู่ด้านล่าง เมื่อแผ่นเวเฟอร์ถูกยึดหัวขัดจะนำไปที่แผ่นขัดเพื่อเริ่มกระบวนการขัด
การจัดการเวเฟอร์มักจะเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมสูญญากาศเพื่อป้องกันการปนเปื้อนและแขนจัดการจะต้องแข็งมากทนต่อการสึกหรอและทนต่ออุณหภูมิ คุณภาพทางกายภาพของอลูมินาเซรามิกคือความหนาแข็งสูงและทนต่อการสึกหรอสูง วัสดุที่ยอดเยี่ยมสำหรับอุปกรณ์เครื่องจักรกลเซมิคอนดักเตอร์เป็นอุปกรณ์ที่มีความต้านทานความร้อนที่ดีความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมฉนวนที่แข็งแกร่งความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีและคุณภาพทางกายภาพอื่น ๆ แม้ในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง
คุณสมบัติหลักของแขนอลูมินา 99.8%
อลูมินาเป็นเซรามิกทางเทคนิคที่แข็งแกร่งมากซึ่งมีความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม
ความสัมพันธ์ที่เหมาะสมที่ไร้ที่ตินั้นง่ายต่อการบรรลุด้วยมิติที่แม่นยำสูงและความทนทานต่อการกระชับ
สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1,650 ° C ในการลดและออกซิไดซ์สภาพแวดล้อม
อลูมินาเป็นเซรามิกทางเทคนิคที่แข็งแกร่งมากซึ่งมีความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม
ความต้านทานต่อการกัดกร่อนทางเคมีที่อุณหภูมิสูงความเฉื่อยทางเคมีความต้านทานต่อกรดที่แข็งแรงและด่างส่วนใหญ่และไม่เป็นสนิม
ฉนวนไฟฟ้า: การสลายฉนวนกันความร้อนอย่างน้อย 18 kV
เครื่องดูดฝุ่นสูงหรือสภาพแวดล้อมป้องกันที่อุณหภูมิสูงใช้ในการกำจัดสารปนเปื้อนและสิ่งสกปรก
เมื่อเทียบกับเซรามิกอื่น ๆ มันมีค่าใช้จ่ายวัสดุต่ำสำหรับการใช้งานระดับสูง
เพื่อสรุปผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถลดความเสี่ยงของความเสียหายหรือการปนเปื้อนในระหว่างการผลิตโดยใช้แขนเซรามิกอลูมินาเพื่อให้การจัดการที่แม่นยำและเชื่อถือได้ของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่เปราะบาง
