(99,8% rameno nakladača hlinitého oblátky vyrobené pomocouWintrustek)
Rameno s keramickým nakladačom s hlinitou 99,8%je komponent používaný v procesoch výroby polovodičov. Alumina keramika je typ keramického materiálu s vynikajúcou elektrickou izoláciou a vysokými tepelnými vodivosťami, vďaka čomu je vhodný pre rôzne polovodičové aplikácie.
Keramické rameno sa bežne používa v výrobných zariadeniach polovodičov, ako sú manipulácie oblátkov a stroje na výber. Počas výrobného procesu drží a manipuluje s polovodičovými doštičkami.
Pre rozhodujúce procesy polovodičových zariadení je potrebné čisté a prachové prostredie, ako aj pre časti, ktoré sa musia používať vo vákuu, vysokých teplotách a korozívnom plynovom prostredí.
Naklamy na oblátky vyrobené z 99,8% hlinitého hlinitého sú namontované na „konečných efektoroch“ alebo do oblátky, ktoré podávajú roboty a používajú sa na presun kremíkových doštičiek do a z procesných komôr a kazety. 95% až 99,9% oxid hlinitý sa používa ako primárny výrobný materiál pre to, čo sa tiež označuje ako polovodičová keramika. Metóda prenosu oblátok si vyžaduje použitie vysokokvalitných hlinitých keramických mechanických ramien, pre ktoré sú prvoradé presné spracovanie a materiály.
Oblátka v zariadení CMP je opatrne umiestnená na plošinu pod leštiacou hlavou po odstránení z krabice do oblátky pri stene robota. Leštiaca hlava zvyčajne slúži ako vákuové adsorpčné zariadenie. Oblátka je pevne adsorbovaná na leštickej hlave pomocou vákuovej adsorpcie, ktorá spôsobuje, že leštiaca hlava sa skĺzne nadol, keď je oblátka umiestnená pod ňou. Akonáhle je oblátka pripevnená, leštiaca hlava ju privedie k leštiteľskej podložke, aby začala proces leštenia.
Manipulácia s oblátkami sa často koná vo vákuovom prostredí, aby sa zabránilo kontaminácii, a manipulačné rameno musí byť extrémne tvrdé, odolné proti opotrebeniu a odolné voči teplote. Fyzické vlastnosti hlinitého keramiky sú to, že je hustý, veľmi tvrdý a vysoko odolný voči noseniu. Vynikajúcim materiálom pre polovodičové zariadenia Mechanické ramená je ten, ktorý má dobrú tepelnú odolnosť, vynikajúcu mechanickú pevnosť, silnú izoláciu, dobrú odolnosť proti korózii a ďalšie fyzikálne vlastnosti aj vo vysokoteplotných prostrediach.
Hlavné črty 99,8%hlinitého ramena
Alumina je veľmi silná technická keramika, ktorá má výnimočnú odolnosť proti opotrebeniu.
Bezchybný montážny vzťah sa dá ľahko dosiahnuť s vysokými presnými rozmermi a toleranciou na sprísnenie.
Dokáže tolerovať teploty až 1650 ° C v redukčnom a oxidačnom prostredí
Alumina je veľmi silná technická keramika, ktorá má výnimočnú odolnosť proti opotrebeniu.
Odolnosť voči chemickej korózii pri vysokých teplotách, chemickej inerte, odolnosť voči väčšine silných kyselín a alkal a nie hrdzavenia
Elektrická izolácia: Zlyhanie izolácie je najmenej 18 kV.
Vysoké vysávače alebo ochranné prostredie pri vysokých teplotách sa používajú na odstránenie kontaminantov a nečistôt.
V porovnaní s inou keramikou má nízke náklady na materiál pre aplikácie na vysokej úrovni.
Na záver, výrobcovia polovodičov môžu minimalizovať riziko poškodenia alebo kontaminácie počas výroby pomocou hlinitého keramických ramien, aby sa zabezpečilo presné a spoľahlivé zaobchádzanie s krehkými doštičkami polovodičov.
