(99,8% aluminiumoxide lader -arm geproduceerd doorWintrustek)
Een keramische laderarm van 99,8%is een component die wordt gebruikt in de productieprocessen van halfgeleiders. Alumina -keramiek is een type keramisch materiaal met uitstekende elektrische isolatie en hoge thermische geleidbaarheidseigenschappen, waardoor het geschikt is voor verschillende halfgeleidertoepassingen.
De keramische arm wordt vaak gebruikt in de productieapparatuur van halfgeleiders, zoals wafers die robots en pick-and-place machines hanteren. Het houdt en manipuleert halfgeleiderwafels tijdens het productieproces.
Een schone en stofvrije omgeving is nodig voor de cruciale processen van halfgeleiderapparaten en de onderdelen die moeten worden gebruikt in vacuüm, hoge temperaturen en corrosieve gasomgevingen.
Waferladers gemaakt van 99,8% aluminiumoxide zijn gemonteerd op "eindeffectoren" of wafers die robots overhandigen en worden gebruikt om siliciumwafels in en uit proceskamers en cassettes te verplaatsen. 95% tot 99,9% aluminiumoxide wordt gebruikt als het primaire productiemateriaal voor wat ook wordt genoemd als halfgeleider keramiek. De waferoverdrachtsmethode vereist het gebruik van keramische mechanische armen met hoge zuiverheid, waarvoor precieze verwerking en materiaalvereisten voorop staan.
De wafer in het CMP -apparaat wordt zorgvuldig op het platform onder de polijstkop geplaatst nadat hij door de robotwand uit de wafelkast is verwijderd. Gewoonlijk dient de polijstkop als een vacuümadsorptieapparaat. De wafel wordt stevig geadsorbeerd op de polijstende kop door vacuümadsorptie, waardoor het polijstkop naar beneden schuift wanneer de wafer eronder wordt geplaatst. Zodra de wafel is vastgemaakt, brengt de polijstkop hem naar het polijstkussen om het polijstproces te beginnen.
Waferafhandeling vindt vaak plaats in een vacuümomgeving om verontreiniging te voorkomen, en de hanteringsarm moet extreem hard, slijtvast en temperatuurbestendig zijn. De fysieke kwaliteiten van Alumina Keramiek zijn dat het dik, zeer hard en zeer resistent is om te dragen. Een uitstekend materiaal voor mechanische armen van halfgeleiderapparatuur is er een met een goede hittebestendigheid, uitstekende mechanische sterkte, sterke isolatie, goede corrosieweerstand en andere fysieke kwaliteiten, zelfs in omgevingen bij hoge temperatuur.
De belangrijkste kenmerken van 99,8%aluminiumoxide arm
Alumina is een zeer sterk technisch keramiek dat uitzonderlijke slijtvastheid heeft.
Een vlekkeloze passende relatie is gemakkelijk te bereiken met hoge precisiedimensies en het aanscherpen van tolerantie.
In staat om temperaturen te verdragen tot 1650 ° C bij het verminderen en oxiderende omgevingen
Alumina is een zeer sterk technisch keramiek dat uitzonderlijke slijtvastheid heeft.
Weerstand tegen chemische corrosie bij hoge temperaturen, chemische inertie, resistentie tegen de meerderheid van sterke zuren en alkaliën, en niet roest
Elektrische isolatie: de isolatiebesparing is ten minste 18 kV.
Hoge stofzuigers of beschermende omgevingen bij hoge temperaturen worden gebruikt om van verontreinigingen en onzuiverheden af te komen.
In vergelijking met ander keramiek heeft het een lage materiaalkosten voor toepassingen op hoog niveau.
Concluderend kunnen halfgeleiderproducenten het risico op schade of verontreiniging tijdens de productie minimaliseren door keramische armen van aluminiumoxide te gebruiken om een precieze en betrouwbare afhandeling van fragiele halfgeleiderwafels te bieden.
