(99.8% lengan pemuat wafer alumina yang dihasilkan olehWintrustek)
Lengan pemuat seramik alumina 99.8%adalah komponen yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Seramik alumina adalah sejenis bahan seramik dengan penebat elektrik yang sangat baik dan sifat kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk pelbagai aplikasi semikonduktor.
Lengan seramik biasanya digunakan dalam peralatan pengeluaran semikonduktor seperti robot pengendalian wafer dan mesin pick-and-place. Ia memegang dan memanipulasi wafer semikonduktor semasa proses pengeluaran.
Persekitaran yang bersih dan bebas debu diperlukan untuk proses penting peranti semikonduktor serta bahagian-bahagian yang mesti digunakan dalam vakum, suhu tinggi, dan persekitaran gas yang menghakis.
Pemuat wafer yang diperbuat daripada 99.8% alumina dipasang pada "effectors end" atau robot penyerahan wafer dan digunakan untuk memindahkan wafer silikon ke dalam dan di luar ruang proses dan kaset. 95% hingga 99.9% aluminium oksida digunakan sebagai bahan pengeluaran utama untuk apa yang juga disebut sebagai seramik semikonduktor. Kaedah pemindahan wafer memerlukan penggunaan lengan mekanikal seramik alumina tinggi, yang mana pemprosesan dan keperluan bahan yang tepat adalah yang paling utama.
Wafer dalam peranti CMP diletakkan dengan teliti di atas platform di bawah kepala penggilap selepas dikeluarkan dari kotak wafer oleh dinding robot. Biasanya, kepala penggilap berfungsi sebagai peranti penjerapan vakum. Wafer tegas terserap pada kepala penggilap melalui penjerapan vakum, yang menyebabkan kepala penggilap meluncur ke bawah apabila wafer diletakkan di bawahnya. Sebaik sahaja wafer diikat, kepala penggilap membawanya ke pad penggilap untuk memulakan proses penggilap.
Pengendalian wafer sering berlaku dalam persekitaran vakum untuk mencegah pencemaran, dan lengan pengendalian mestilah sangat keras, tahan haus, dan tahan suhu. Kualiti fizikal seramik alumina adalah bahawa ia adalah tebal, sangat keras, dan sangat tahan dipakai. Bahan yang sangat baik untuk peralatan mekanikal semikonduktor adalah salah satu yang mempunyai rintangan haba yang baik, kekuatan mekanikal yang sangat baik, penebat yang kuat, rintangan kakisan yang baik, dan kualiti fizikal lain walaupun dalam persekitaran suhu tinggi.
Ciri utama 99.8%lengan alumina
Alumina adalah seramik teknikal yang sangat kuat yang mempunyai rintangan haus yang luar biasa.
Hubungan pemasangan yang sempurna adalah mudah dicapai dengan dimensi ketepatan yang tinggi dan toleransi pengetatan.
Dapat bertolak ansur dengan suhu setinggi 1650 ° C dalam mengurangkan dan mengoksida persekitaran
Alumina adalah seramik teknikal yang sangat kuat yang mempunyai rintangan haus yang luar biasa.
Rintangan terhadap kakisan kimia pada suhu tinggi, ketahanan kimia, penentangan terhadap majoriti asid dan alkali yang kuat, dan bukan karat
Penebat elektrik: Kerosakan penebat sekurang -kurangnya 18 kV.
Vacuum yang tinggi atau persekitaran perlindungan pada suhu tinggi digunakan untuk menghilangkan bahan cemar dan kekotoran.
Berbanding dengan seramik lain, ia mempunyai kos bahan yang rendah untuk aplikasi peringkat tinggi.
Untuk membuat kesimpulan, pengeluar semikonduktor dapat meminimumkan risiko kerosakan atau pencemaran semasa pembuatan dengan menggunakan lengan seramik alumina untuk menyediakan pengendalian yang tepat dan boleh dipercayai dari wafer semikonduktor yang rapuh.
