Karbida boron dalam semikonduktor

2025-01-08

Boron Carbide in Semiconductor

(Cincin fousing b4c yang dihasilkan olehWintrustek)

Boran Carbide (B₄C)dianggap sebagai bahan seramik teknikal yang sangat keras dan tahan haus kerana ciri-cirinya. Oleh kerana itu, ia sesuai untuk mengendalikan bahan -bahan yang sangat keras, sama ada mereka sintered bertindak sebagai muncung letupan atau dalam bentuk serbuk atau tampal dan digunakan sebagai ejen yang kasar atau kasar. Produk yang diperbuat daripada boron karbida mempunyai hayat perkhidmatan yang sangat panjang, pakaian kecil, dan harga yang berpatutan. Di samping itu, peralatan ketenteraan baru menggunakan pembinaan komposit ringan yang diperbuat daripada karbida boron untuk perlindungan balistik. Bahan serba boleh ini juga digunakan sebagai pengisi, sebagai contoh, untuk meningkatkan ketahanan bahan untuk dipakai dalam logam atau plastik, sebagai semikonduktor suhu tinggi, atau sebagai penyerap neutron dalam reaktor nuklear.

Seramik Boron CarbideDengan keupayaan semikonduktor dan kekonduksian terma yang kuat boleh digunakan sebagai komponen semikonduktor suhu tinggi, serta cakera pengedaran gas, cincin fokus, tingkap microwave atau inframerah, dan palam DC dalam sektor semikonduktor. Apabila dipasangkan dengan C, B4C boleh digunakan sebagai elemen thermoelektrik tahan radiasi dan sebagai elemen termokopel suhu tinggi dengan suhu perkhidmatan sehingga 2300 ° C.

Cincin fokus B4C

Komoditi yang digunakan dalam langkah etsa pembuatan wafer adalah cincin fokus. Ia mengekalkan wafer pegun supaya ketumpatan plasma dikekalkan dan melindungi sidewall wafer dari pencemaran.

Pada masa lalu, cincin fokus diperbuat daripada silikon dan kuarza. Walau bagaimanapun, keperluan untukkarbida silikon (sic)Cincin fokus berkembang bersama -sama dengan penggunaan etsa kering di atas etsa basah untuk fabrikasi wafer lanjutan.

B4C tahan terhadap plasma dan suhu tinggi, sepertiSic. Kerana B4C lebih sukar, mereka boleh digunakan untuk tempoh masa yang lebih lama bagi setiap unit.

Ciri -ciri utama (cincin fokus B4C)