(99,8% alumīnija oksīda vafeļu iekrāvēja rokuWinTrustek)
99,8%alumīnija oksīda keramikas iekrāvēja roka ir sastāvdaļa, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesos. Alumīnija oksīda keramika ir keramikas materiāla veids ar izcilu elektrisko izolāciju un augstām siltumvadītspējas īpašībām, padarot to piemērotu dažādiem pusvadītāju lietojumiem.
Keramikas roku parasti izmanto pusvadītāju ražošanas iekārtās, piemēram, robotos, kas apstrādā vafeļu un paņemšanu un vietu. Ražošanas procesā tas tur un manipulē ar pusvadītāju vafelēm.
Pusvadītāju ierīču izšķirošajiem procesiem, kā arī detaļām, kuras jāizmanto vakuumā, augstā temperatūrā un kodīgā gāzes vidē, ir nepieciešama tīra un putekļu vide.
Vafeļu iekrāvēji, kas izgatavoti no 99,8% alumīnija oksīda, ir uzstādīti uz "gala efektoriem" vai robotiem ar vafeles, un tos izmanto, lai pārvietotos silīcija vafeles uz procesa kamerām un kasetēm. Par galveno ražošanas materiālu tiek izmantots 95% līdz 99,9% alumīnija oksīda, ko sauc arī par pusvadītāju keramiku. Vafeļu pārsūtīšanas metodei ir jāizmanto augstas tīrības alumīnija oksīda keramikas mehāniskās rokas, par kurām vissvarīgākās ir precīzas apstrādes un materiālu prasības.
Vafs CMP ierīcē tiek rūpīgi novietots uz platformas zem pulēšanas galvas pēc tam, kad robota siena to noņem no vafeļu kastes. Parasti pulēšanas galva kalpo kā vakuuma adsorbcijas ierīce. Vafs ir stingri adsorbēts uz pulēšanas galvas caur vakuuma adsorbciju, kas liek pulēšanas galvai slīdēt uz leju, kad vafele tiek novietota zem tā. Kad vafele ir piestiprināta, pulēšanas galva to nogādā pulēšanas spilventiņā, lai sāktu pulēšanas procesu.
Vafeļu apstrāde bieži notiek vakuuma vidē, lai novērstu piesārņojumu, un apstrādes rokai jābūt ārkārtīgi cietai, nodilumam izturīgai un izturīgai pret temperatūru. Alumīnija oksīda keramikas fiziskās īpašības ir tādas, ka tā ir bieza, ļoti cieta un ļoti izturīga pret nēsāšanu. Lielisks materiāls pusvadītāju aprīkojuma mehāniskām grupām ir tāds, kam ir laba karstuma izturība, lieliska mehāniskā izturība, spēcīga izolācija, laba izturība pret koroziju un citas fiziskas īpašības pat augstas temperatūras vidē.
99,8%alumīnija oksīda galvenās iezīmes
Alumīnija oksīds ir ļoti spēcīga tehniskā keramika, kurai ir ārkārtēja nodiluma pretestība.
Nevainojamas montāžas attiecības ir viegli sasniegt ar augstām precizitātes izmēriem un pieliekamo toleranci.
Spēj paciest temperatūru pat 1650 ° C, samazinot un oksidējot vidi
Alumīnija oksīds ir ļoti spēcīga tehniskā keramika, kurai ir ārkārtēja nodiluma pretestība.
Izturība pret ķīmisko koroziju augstā temperatūrā, ķīmiskā inertācija, izturība pret lielāko daļu spēcīgo skābju un sārmainas, nevis rūsa
Elektriskā izolācija: izolācijas sadalījums ir vismaz 18 kV.
Lai atbrīvotos no piesārņotājiem un piemaisījumiem, tiek izmantoti augsti vakuumi vai aizsargājoša vide augstā temperatūrā.
Salīdzinot ar citu keramiku, tai ir zemas materiālu izmaksas augsta līmeņa lietojumiem.
Jāsecina, ka pusvadītāju ražotāji ražošanas laikā var samazināt bojājuma vai piesārņojuma risku, izmantojot alumīnija oksīda keramikas ieročus, lai nodrošinātu precīzu un uzticamu trauslu pusvadītāju vafeļu apstrādi.
