ປະຈຸບັນ, ການຮ້ອງຟ້ອງຂອງການປົກປັກຮັກສາສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ການອະນຸລັກພະລັງງານທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໄດ້ນຳເອົາພາຫະນະໄຟຟ້າພະລັງງານໃໝ່ພາຍໃນປະເທດມາເປັນຈຸດເດັ່ນ. ອຸປະກອນຊຸດພະລັງງານສູງມີບົດບາດຕັດສິນໃນການຄວບຄຸມຄວາມໄວຂອງຍານພາຫະນະ ແລະເກັບຮັກສາການແປງ AC ແລະ DC. ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງໄດ້ວາງຂໍ້ກໍານົດຢ່າງເຂັ້ມງວດສໍາລັບການລະບາຍຄວາມຮ້ອນຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ເອເລັກໂຕຣນິກ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມສັບສົນແລະຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກຕ້ອງການວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່ເພື່ອໃຫ້ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີແລະມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງເພື່ອມີບົດບາດສະຫນັບສະຫນູນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງໄວວາຂອງເຕັກໂນໂລຢີເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານທີ່ທັນສະໄຫມ, ເຊິ່ງມີລັກສະນະທີ່ມີແຮງດັນສູງ, ກະແສໄຟຟ້າສູງ, ແລະຄວາມຖີ່ສູງ, ປະສິດທິພາບການລະບາຍຄວາມຮ້ອນຂອງໂມດູນພະລັງງານທີ່ໃຊ້ກັບເຕັກໂນໂລຢີນີ້ໄດ້ກາຍເປັນຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍຂຶ້ນ. ວັດສະດຸຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກໃນລະບົບການຫຸ້ມຫໍ່ເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນກຸນແຈໃນການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ພວກມັນຍັງມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງໃນການຕອບສະຫນອງຕໍ່ຄວາມສັບສົນຂອງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ. ຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກຕົ້ນຕໍທີ່ໄດ້ຮັບການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຊຸມປີທີ່ຜ່ານມາແມ່ນ Al2O3, BeO, SiC, Si3N4, AlN, ແລະອື່ນໆ.
ເຊລາມິກ Al2O3 ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາຊັ້ນໃຕ້ດິນລະບາຍຄວາມຮ້ອນໂດຍອີງໃສ່ຂະບວນການກະກຽມທີ່ງ່າຍດາຍຂອງມັນ, ມີ insulation ທີ່ດີແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງ Al2O3 ບໍ່ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການໃນການພັດທະນາຂອງອຸປະກອນພະລັງງານສູງແລະແຮງດັນສູງ, ແລະມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາເທົ່ານັ້ນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງແຜ່ນເຫຼັກຕ່ໍາຍັງຈໍາກັດຂອບເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Al2O3 ceramics ເປັນ substrates ການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ.
ຊັ້ນຍ່ອຍເຊລາມິກ BeO ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມຄົງທີ່ dielectric ຕ່ໍາເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນປະສິດທິພາບ. ແຕ່ວ່າມັນບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນດີຕໍ່ການນຳໃຊ້ໃນຂະໜາດໃຫຍ່ ເນື່ອງຈາກຄວາມເປັນພິດຂອງມັນສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ສຸຂະພາບຂອງຄົນງານ.
ເຊລາມິກ AlN ແມ່ນຖືວ່າເປັນວັດສະດຸທີ່ສະໝັກໄດ້ສຳລັບຊັ້ນຍ່ອຍລະບາຍຄວາມຮ້ອນ ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງມັນ. ແຕ່ເຊລາມິກ AlN ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ດີ, ຄວາມບໍ່ສະດວກ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງຕໍ່າແລະຄວາມທົນທານ, ເຊິ່ງບໍ່ເອື້ອອໍານວຍຕໍ່ການເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສັບສົນ, ແລະມັນຍາກທີ່ຈະຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.
SiC ceramic ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ເນື່ອງຈາກການສູນເສຍ dielectric ສູງແລະແຮງດັນການທໍາລາຍຕ່ໍາ, ມັນບໍ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກຄວາມຖີ່ສູງແລະແຮງດັນ.
Si3N4 ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບວ່າເປັນວັດສະດຸຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກທີ່ດີທີ່ສຸດທີ່ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງໃນພາຍໃນ ແລະຕ່າງປະເທດ. ເຖິງແມ່ນວ່າການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກ Si3N4 ຕ່ໍາກວ່າ AlN ເລັກນ້ອຍ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງ flexural ແລະຄວາມທົນທານຂອງກະດູກຫັກສາມາດບັນລຸຫຼາຍກ່ວາສອງເທົ່າຂອງ AlN. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງເຊລາມິກ Si3N4 ແມ່ນສູງກວ່າ Al2O3 ceramic. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກ Si3N4 ແມ່ນຢູ່ໃກ້ກັບໄປເຊຍກັນ SiC, ຊັ້ນຍ່ອຍຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີລຸ້ນທີ 3, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ມັນເຂົ້າກັນໄດ້ກັບວັດສະດຸຜລຶກ SiC ຢ່າງໝັ້ນຄົງ. ມັນເຮັດໃຫ້ Si3N4 ເປັນວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບ substrates ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງສໍາລັບອຸປະກອນພະລັງງານ SiC semiconductor ລຸ້ນທີ 3.
