(99.8% זרוע מטען אלומינה מיוצר על ידיוינטרוסטק)
זרוע מטען קרמיקה של 99.8%אלומינה היא רכיב המשמש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה. קרמיקה אלומינה היא סוג של חומר קרמי עם בידוד חשמלי מעולה ותכונות מוליכות תרמיות גבוהות, מה שהופך אותו מתאים ליישומי מוליכים למחצה שונים.
זרוע הקרמיקה משמשת בדרך כלל בציוד ייצור מוליכים למחצה כמו רובוטים מטפלים בפליקה ומכונות איסוף ומקום. זה מחזיק ומניפולציה של פלים מוליכים למחצה במהלך תהליך הייצור.
סביבה נקייה ונטולת אבק נחוצה לתהליכים מכריעים של מכשירי מוליכים למחצה, כמו גם לחלקים שיש להשתמש בהם בוואקום, בטמפרטורות גבוהות ובסביבות גז מאכל.
מעמיסי רקיק העשויים 99.8% אלומינה מורכבים על "אפקטורי קצה" או רובוטים המסוריים רקיקים ומשמשים להעברת פרוסות סיליקון לתאי תהליכים וקלטות. תחמוצת אלומיניום של 95% עד 99.9% משמשת כחומר הייצור העיקרי למה שמכונה גם קרמיקה מוליכים למחצה. שיטת העברת הוופל מחייבת שימוש בזרועות מכניות קרמיות אלומינה בעלות טוהר גבוה, שעבורם דרישות עיבוד ודרישות חומר מדויקות הן בעלות חשיבות עליונה.
הוופל במכשיר CMP ממוקם בזהירות על הרציף שמתחת לראש הליטוש לאחר שהוצא מתיבת הוופל ליד קיר הרובוט. בדרך כלל ראש הליטוש משמש כמכשיר ספיחת ואקום. הוופל סופג היטב על ראש הליטוש דרך ספיחת ואקום, מה שגורם לראש הליטוש להחליק כלפי מטה כאשר המפנק ממוקם מתחתיו. לאחר מהודק הוופל, ראש הליטוש מביא אותו לכרית הליטוש כדי להתחיל בתהליך הליטוש.
טיפול בגלישה מתרחש לעתים קרובות בסביבת ואקום כדי למנוע זיהום, וזרוע הטיפול חייבת להיות קשה במיוחד, עמידה בלאי ועמידה בטמפרטורה. התכונות הפיזיות של קרמיקה של אלומינה הן שהיא עבה, קשה מאוד ועמידה מאוד ללבוש. חומר מצוין לציוד מוליכים למחצה זרועות מכניות הוא כזה שיש לו עמידות חום טובה, חוזק מכני מצוין, בידוד חזק, עמידות בפני קורוזיה טובה, ותכונות פיזיות אחרות אפילו בסביבות בטמפרטורה גבוהה.
התכונות העיקריות של זרוע אלומינה של 99.8%
אלומינה היא קרמיקה טכנית חזקה מאוד שיש לה עמידות ללבוש יוצאת דופן.
קל להשיג מערכת יחסים מתאימה ללא רבב עם מידות דיוק גבוהות והידוק הסובלנות.
מסוגל לסבול טמפרטורות גבוהות כמו 1650 מעלות צלזיוס בסביבות צמצום ומחמצן
אלומינה היא קרמיקה טכנית חזקה מאוד שיש לה עמידות ללבוש יוצאת דופן.
עמידות בפני קורוזיה כימית בטמפרטורות גבוהות, אינרטיות כימית, עמידות לרוב חומצות חזקות ואלקליות ולא חלודה
בידוד חשמלי: פירוק הבידוד הוא לפחות 18 קילוואט.
שואבים גבוהים או סביבות מגן בטמפרטורות גבוהות משמשים להיפטר מזיהומים וזיהומים.
בהשוואה לקרמיקה אחרת, יש לו עלות חומר נמוכה ליישומים ברמה גבוהה.
לסיכום, יצרני מוליכים למחצה יכולים למזער את הסיכון לנזק או לזיהום במהלך הייצור על ידי שימוש בזרועות קרמיקה של אלומינה כדי לספק טיפול מדויק ואמין בפליקי מוליכים למחצה שבריריים.
