(Braccio caricatore wafer di allumina 99,8% prodotto daWintrustek)
Un braccio di caricatore in ceramica di allumina al 99,8%è un componente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori. La ceramica di allumina è un tipo di materiale ceramico con eccellente isolamento elettrico e proprietà di conducibilità termica elevata, che lo rende adatto a varie applicazioni a semiconduttore.
Il braccio ceramico è comunemente impiegato in attrezzature di produzione di semiconduttori come robot di gestione dei wafer e macchine da pick-and-place. Tiene e manipola i wafer di semiconduttori durante il processo di produzione.
È necessario un ambiente pulito e privo di polvere per i processi cruciali dei dispositivi a semiconduttore, nonché le parti che devono essere impiegate in aspirapolvere, alte temperature e ambienti di gas corrosivi.
I caricatori di wafer realizzati in allumina al 99,8% sono montati su "EFFETTORI FINI" o Wafer che consegnano robot e vengono utilizzati per spostare i wafer di silicio dentro e fuori da camere di processo e cassette. L'ossido di alluminio dal 95% al 99,9% viene utilizzato come materiale di produzione primario per quello che viene anche indicato come ceramica a semiconduttore. Il metodo di trasferimento del wafer richiede l'uso di bracci meccanici in ceramica in allumina di alta purezza, per i quali sono fondamentali elaborazione precisa e requisiti di materiale.
Il wafer nel dispositivo CMP è accuratamente posizionato sulla piattaforma sotto la testa di lucidatura dopo essere stato rimosso dalla scatola del wafer dalla parete del robot. Di solito, la testa di lucidatura funge da dispositivo di adsorbimento del vuoto. Il wafer è saldamente adsorbito sulla testa di lucidatura attraverso l'adsorbimento del vuoto, che fa scivolare la testa di lucidatura verso il basso quando il wafer viene posizionato sotto di essa. Una volta fissato il wafer, la testa di lucidatura lo porta sul cuscinetto di lucidatura per iniziare il processo di lucidatura.
La movimentazione dei wafer si svolge spesso in un ambiente a vuoto per prevenire la contaminazione e il braccio di manipolazione deve essere estremamente duro, resistente all'usura e resistente alla temperatura. Le qualità fisiche della ceramica di allumina sono che è spessa, altamente dura e altamente resistente all'usura. Un materiale eccellente per le attrezzature a semiconduttore i bracci meccanici è uno che ha una buona resistenza al calore, un'eccellente resistenza meccanica, una forte isolamento, una buona resistenza alla corrosione e altre qualità fisiche anche in ambienti ad alta temperatura.
Le caratteristiche principali del braccio di allumina al 99,8%
L'allumina è una ceramica tecnica molto forte che ha un'eccezionale resistenza all'usura.
Una relazione di adattamento impeccabile è facile da ottenere con dimensioni ad alta precisione e tolleranza al serraggio.
In grado di tollerare temperature fino a 1650 ° C per ridurre e ossidare gli ambienti
L'allumina è una ceramica tecnica molto forte che ha un'eccezionale resistenza all'usura.
Resistenza alla corrosione chimica ad alte temperature, inerzia chimica, resistenza alla maggior parte di acidi forti e alcali e non ruggine
Isolamento elettrico: la rottura dell'isolamento è di almeno 18 kV.
Vengono utilizzati aspiratori alti o ambienti protettivi ad alte temperature per sbarazzarsi di contaminanti e impurità.
Rispetto ad altre ceramiche, ha un basso costo del materiale per applicazioni di alto livello.
Per concludere, i produttori di semiconduttori possono ridurre al minimo il rischio di danni o contaminazione durante la produzione utilizzando armi in ceramica di allumina per fornire una gestione precisa e affidabile di fragili wafer a semiconduttore.
