(99,8% Alumina Wafer Loader armur framleiddur afWintrustek)
99,8%Alumina keramikhleðslutæki er hluti sem notaður er í framleiðsluferlum hálfleiðara. Alumina keramik er tegund af keramikefni með framúrskarandi rafeinangrun og háum hitaleiðni eiginleika, sem gerir það hentugt fyrir ýmis hálfleiðara forrit.
Keramikarmurinn er almennt notaður í framleiðslubúnaði hálfleiðara svo sem með því að meðhöndla vélmenni og víkjandi vélar. Það heldur og vinnur með hálfleiðara skífum meðan á framleiðsluferlinu stendur.
Hreint og ryklaust umhverfi er nauðsynlegt fyrir mikilvæga ferli hálfleiðara tæki sem og hlutina sem þarf að nota við tómarúm, hátt hitastig og ætandi gasumhverfi.
Gafhleðslutæki úr 99,8% súrál eru fest á „lokaáhrif“ eða skífu sem afhendir vélmenni og eru notaðir til að færa sílikonskífur inn í og úr vinnsluhólfum og snældum. 95% til 99,9% áloxíð er notað sem frumframleiðsluefni fyrir það sem einnig er vísað til sem hálfleiðara keramik. Aðferðin við flísaflutning þarfnast notkunar með mikilli hreinsunarlínu keramik vélrænum handleggjum, þar sem nákvæmar vinnslu og efnisþörf er í fyrirrúmi.
Sýningin í CMP tækinu er sett vandlega á pallinn undir fægihöfuðinu eftir að hafa verið fjarlægð úr skífunni við vélmennivegginn. Venjulega þjónar fægihausinn sem tómarúm aðsogstæki. Gafinn er þétt aðsogaður á fægingu höfuðsins í gegnum lofttæmisaðsog, sem veldur því að fægihausinn rennur niður þegar skífan er sett undir það. Þegar skífan er fest, færir fægihöfuðið það á fægipúðann til að hefja fægja ferlið.
Meðhöndlun á skífu fer oft fram í tómarúmsumhverfi til að koma í veg fyrir mengun og meðhöndlunararminn verður að vera mjög harður, slitþolinn og hitastig. Líkamlegir eiginleikar súráls keramik eru að hann er þykkur, mjög harður og mjög ónæmur fyrir slit. Frábært efni fyrir vélrænan handlegg sem er hálfleiðari er það sem hefur góða hitaþol, framúrskarandi vélrænan styrk, sterka einangrun, góða tæringarþol og aðra líkamlega eiginleika jafnvel í háhita umhverfi.
Helstu eiginleikar 99,8%súrálarms
Alumina er mjög sterk tæknileg keramik sem hefur framúrskarandi slitþol.
Auðvelt er að ná gallalausum viðeigandi samband með miklum nákvæmni víddum og hertu umburðarlyndi.
Fær um að þola hitastig allt að 1650 ° C við að draga úr og oxandi umhverfi
Alumina er mjög sterk tæknileg keramik sem hefur framúrskarandi slitþol.
Viðnám gegn efnafræðilegum tæringu við hátt hitastig, efnafræðilega óvirkni, viðnám gegn meirihluta sterkra sýru og basa, en ekki ryð
Rafmagnseinangrun: Einangrun sundurliðun er að minnsta kosti 18 kV.
Hátt lofttæmi eða verndarumhverfi við hátt hitastig er notað til að losna við mengunarefni og óhreinindi.
Í samanburði við önnur keramik hefur það lágan efniskostnað fyrir hátt stig.
Að lokum geta framleiðendur hálfleiðara lágmarkað hættuna á skemmdum eða mengun meðan á framleiðslu stendur með því að nota súrál keramikvopn til að veita nákvæma og áreiðanlega meðhöndlun brothættra hálfleiðara.
