(99,8% alumínium -oxid ostya -rakodó kar előállítottWintrustek)
A 99,8%-os alumínium -oxid kerámia rakodó kar egy olyan alkatrész, amelyet félvezető gyártási folyamatokban használnak. Az alumínium -oxid kerámia egy olyan kerámia anyag, amely kiváló elektromos szigeteléssel és nagy hővezetési tulajdonságokkal rendelkezik, így különféle félvezető alkalmazásokhoz alkalmas.
A kerámia karot általában félvezető gyártó berendezésekben, például ostyakezelő robotokban és pick-and-the-place gépekben alkalmazzák. A gyártási folyamat során a félvezető ostyákat tartja és manipulálja.
Tiszta és pormentes környezetre van szükség a félvezető eszközök kritikus folyamatainak, valamint az alkatrészekhez, amelyeket vákuumban, magas hőmérsékleten és korrozív gázkörnyezetben kell alkalmazni.
A 99,8% -os alumínium -oxidból készült ostyahordozókat a "vége effektorokra" vagy az ostya -átadó robotokra szerelik fel, és a szilícium ostyákat a folyamatkamrákba és a kazettákba történő áthelyezésre használják. A 95–99,9% -os alumínium -oxidot használják elsődleges termelési anyagként, amelyet szintén félvezető kerámiának neveznek. Az ostyaátadási módszer szükségessé teszi a nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia mechanikai karok használatát, amelyekre a pontos feldolgozás és az anyagkövetelmények kiemelkedően fontosak.
A CMP -eszköz ostyáját óvatosan helyezik a polírozó feje alatti peronra, miután a robot falán eltávolították a ostya dobozból. A polírozó fej általában vákuum -adszorpciós eszközként szolgál. Az ostya szilárdan adszorbeálódik a polírozó fején a vákuum -adszorpción keresztül, ami a polírozó fej lefelé csúszik, amikor az ostya alatta van. Miután az ostya rögzült, a polírozó fej a polírozópadhoz vezeti a polírozási folyamat megkezdéséhez.
Az ostyakezelés gyakran vákuumkörnyezetben zajlik a szennyeződés megakadályozása érdekében, és a kezelőkarnak rendkívül keménynek, kopásálló és hőmérséklet-ellenállónak kell lennie. Az alumínium -oxid kerámia fizikai tulajdonságai az, hogy vastag, nagyon kemény és nagyon ellenálló viselet. Kiváló anyag a félvezető berendezések gépi karjaihoz, amelyek jó hőállósággal, kiváló mechanikai szilárdsággal, erős szigeteléssel, jó korrózióállósággal és egyéb fizikai tulajdonságokkal rendelkeznek, még a magas hőmérsékletű környezetben is.
A 99,8%alumínium -oxid karjának fő jellemzői
Az alumínium -oxid egy nagyon erős műszaki kerámia, amely kivételes kopásállósággal rendelkezik.
A hibátlan illesztési kapcsolat könnyen elérhető nagy pontosságú méretekkel és szigorító toleranciával.
Képes elviselni az 1650 ° C -os hőmérsékletet a környezetek csökkentésében és oxidáló környezetében
Az alumínium -oxid egy nagyon erős műszaki kerámia, amely kivételes kopásállósággal rendelkezik.
A kémiai korrózióval szembeni ellenállás magas hőmérsékleten, kémiai tehetetlenségben, az erős savak és lúgok többségével szembeni ellenállás, nem pedig a rozsda
Elektromos szigetelés: A szigetelési bontás legalább 18 kV.
A magas hőmérsékleten magas vákuumokat vagy védő környezetet használnak a szennyező anyagok és szennyeződések megszabadulására.
Más kerámiákhoz képest alacsony szintű anyagköltséggel bír a magas szintű alkalmazásoknál.
Összefoglalva: a félvezető gyártók minimalizálhatják a károsodás vagy a szennyeződés kockázatát a gyártás során alumínium -oxid kerámia karokkal, hogy pontos és megbízható kezelést biztosítsanak a törékeny félvezető ostyák.
