(99,8% ARM de cargador de oblea de alúmina producido porWintrustek)
Un brazo de cargador de cerámica de alumina do 99,8%é un compoñente usado nos procesos de fabricación de semiconductores. A cerámica de alúmina é un tipo de material cerámico con excelente illamento eléctrico e altas propiedades de condutividade térmica, tornándoo adecuado para varias aplicacións de semiconductores.
O brazo de cerámica é comunmente empregado en equipos de produción de semiconductores como robots de manipulación de obleas e máquinas de recollida e lugar. Sostén e manipula obleas de semiconductores durante o proceso de produción.
Un ambiente limpo e sen po é necesario para os procesos cruciais dos dispositivos de semiconductores así como as pezas que deben empregarse en baleiro, altas temperaturas e ambientes corrosivos de gas.
As cargadoras de obleas feitas do 99,8% de alúmina están montadas en "efectores finais" ou na oblea que entregan robots e úsanse para mover as obleas de silicio dentro e fóra das cámaras e casetes de proceso. O óxido de aluminio do 95% ao 99,9% úsase como material de produción principal para o que tamén se denomina cerámica de semiconductores. O método de transferencia de obleas require o uso de brazos mecánicos de cerámica de alúmina de alta pureza, para o que son primordiais os requisitos de procesamento preciso e o material.
A oblea no dispositivo CMP colócase coidadosamente na plataforma debaixo da cabeza de pulido despois de ser eliminada da caixa da oblea pola parede do robot. Normalmente, a cabeza de pulido serve como dispositivo de adsorción de baleiro. A oblea está firmemente adsorbida na cabeza de pulido mediante a adsorción ao baleiro, o que fai que a cabeza de pulido se deslice cara a abaixo cando a oblea se coloca debaixo dela. Unha vez que a oblea está suxeita, a cabeza de pulido lévao á almofada de pulido para comezar o proceso de pulido.
A manipulación das obleas adoita ter lugar nun ambiente de baleiro para evitar a contaminación e o brazo de manipulación debe ser extremadamente duro, resistente ao desgaste e resistente á temperatura. As calidades físicas da cerámica de alúmina son que é grosa, moi dura e altamente resistente ao desgaste. Un excelente material para os brazos mecánicos de equipos de semiconductores é un que ten unha boa resistencia á calor, unha excelente resistencia mecánica, un forte illamento, unha boa resistencia á corrosión e outras calidades físicas incluso en ambientes de alta temperatura.
As principais características do brazo de alúmina do 99,8%
A alúmina é unha cerámica técnica moi forte que ten unha resistencia ao desgaste excepcional.
Unha relación de montaxe impecable é fácil de conseguir con altas dimensións de precisión e tolerancia endurecida.
Capaz de tolerar temperaturas ata 1650 ° C en ambientes reducidos e oxidantes
A alúmina é unha cerámica técnica moi forte que ten unha resistencia ao desgaste excepcional.
Resistencia á corrosión química a altas temperaturas, inercia química, resistencia á maioría de ácidos fortes e alcalinos, e non ferruxe
Illamento eléctrico: a ruptura do illamento é de polo menos 18 kV.
Os altos baleiros ou ambientes de protección a altas temperaturas úsanse para desfacerse de contaminantes e impurezas.
En comparación con outras cerámicas, ten un baixo custo material para aplicacións de alto nivel.
Para concluír, os produtores de semiconductores poden minimizar o risco de danos ou contaminación durante a fabricación empregando armas cerámicas de alúmina para proporcionar un manexo preciso e fiable de obleas de semiconductores fráxiles.
