(99,8% alumiinioksidikalatalokerrastaWintrustek)
99,8%alumiinioksidin keraamisen kuormitusvarsi on komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa. Alumiinioksidi -keraaminen on eräänlainen keraaminen materiaali, jolla on erinomainen sähköeristys ja korkeat lämmönjohtavuusominaisuudet, joten se sopii erilaisiin puolijohdesovelluksiin.
Keraamista käsivartta käytetään yleisesti puolijohdetuotantolaitteissa, kuten kiekkojen käsittelyrobotit ja poiminta- ja paikan koneet. Se pitää ja manipuloi puolijohdekiekkoja tuotantoprosessin aikana.
Puhdas ja pölytön ympäristö on välttämätön puolijohdelaitteiden tärkeille prosesseille sekä osille, joita on käytettävä tyhjiössä, korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä kaasuympäristöissä.
99,8%: sta alumiinioksidista tehdyt kiekkokuormaimet on asennettu "päätyefektoreille" tai kiekkojen luovutusroboteihin, ja niitä käytetään piin kiekkojen siirtämiseen prosessikammioihin ja kasetteihin. 95% - 99,9% alumiinioksidia käytetään ensisijaisena tuotantomateriaalina sille, jota kutsutaan myös puolijohdekeramiikkaan. Kiekkojen siirtomenetelmä edellyttää korkean puhtaan alumiinioksidi-keraamisten mekaanisten aseiden käyttöä, joille tarkka prosessointi ja materiaalivaatimukset ovat ensiarvoisen tärkeitä.
CMP -laitteen kiekko asetetaan varovasti kiillotuspään alle sen jälkeen, kun se on poistettu kiekko -laatikosta robotin seinän vieressä. Yleensä kiillotuspää toimii tyhjiöadsorptiolaitteena. Kiekko adsorboituu tiukasti kiillotuspäähän tyhjiödsorption kautta, mikä aiheuttaa kiillotuspäätä liukumaan alaspäin, kun kiekko asetetaan sen alle. Kun kiekko on kiinnitetty, kiillotuspää vie sen kiillotusalustaan kiillotusprosessin aloittamiseksi.
Kiekkojen käsittely tapahtuu usein tyhjiöympäristössä saastumisen estämiseksi, ja käsittelyvarren on oltava erittäin kovaa, kulutusta kestävää ja lämpötilankestävää. Alumiinioksidin keraamisen fyysiset ominaisuudet ovat, että se on paksu, erittäin kova ja erittäin kestävä kulumiselle. Erinomainen materiaali puolijohdelaitteille mekaaniset käsivarret ovat hyvä lämmönkestävyys, erinomainen mekaaninen lujuus, vahva eristys, hyvä korroosionkestävyys ja muut fyysiset ominaisuudet jopa korkean lämpötilan ympäristöissä.
99,8%: n alumiinioksidivarren pääominaisuudet
Alumiinioksidi on erittäin vahva tekninen keraaminen, jolla on poikkeuksellinen kulutuskestävyys.
Virheeton sovitussuhde on helppo saavuttaa suurella tarkkuusmittalla ja kiristävällä toleranssilla.
Pystyy sietävän jopa 1650 ° C: n lämpötiloja vähentämis- ja hapettamisympäristöissä
Alumiinioksidi on erittäin vahva tekninen keraaminen, jolla on poikkeuksellinen kulutuskestävyys.
Kemiallisen korroosion vastus korkeissa lämpötiloissa, kemiallinen inertti, vastus suurimmalle osalle vahvoista hapoista ja alkalisista, eivätkä ruoste
Sähköeristys: Eristyksen hajoaminen on vähintään 18 kV.
Korkeita lämpötiloissa käytetään korkeita tyhjiöitä tai suojaavia ympäristöjä epäpuhtauksista ja epäpuhtauksista.
Muihin keramiikkaan verrattuna sillä on alhaiset materiaalikustannukset korkean tason sovelluksille.
Yhteenvetona voidaan todeta, että puolijohteiden tuottajat voivat minimoida vaurioiden tai saastumisen riskin valmistuksen aikana käyttämällä alumiinioksidikeraamisia käsivarsia tarkkaksi ja luotettavaksi hauraiden puolijohteiden kiekkojen tarkkaksi ja luotettavaksi.
