(99,8% de braç de carregador d'alumina produït perWintrustek)

Un braç de càrrega ceràmica alumina del 99,8%és un component utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors. L’alumina ceràmica és un tipus de material ceràmic amb excel·lents aïllaments elèctrics i propietats d’alta conductivitat tèrmica, cosa que el fa adequat per a diverses aplicacions de semiconductors.

El braç de ceràmica s’utilitza habitualment en equips de producció de semiconductors com ara robots de manipulació d’hòsties i màquines de recollida i lloc. Manté i manipula les hòsties de semiconductors durant el procés de producció.

És necessari un entorn net i sense pols per als processos crucials dels dispositius de semiconductors, així com les parts que s’han d’utilitzar en el buit, altes temperatures i amb els ambients de gas corrosiu.

Les carregadores d’hòsties fabricades en 99,8% d’alúmina estan muntades en “efectors finals” o robots de lliurament de les hòsties i s’utilitzen per moure les hòsties de silici cap a les cambres i cassets de procés. El 95% al ​​99,9% l’òxid d’alumini s’utilitza com a material de producció primària per al que també es coneix com a ceràmica de semiconductors. El mètode de transferència d’hòsties requereix l’ús d’armes mecànics ceràmics d’alumina d’alta puresa, per als quals són primordials el processament i els requisits de material precisos.

L’hòstia del dispositiu CMP es col·loca acuradament a la plataforma sota el cap de poliment després de ser retirada de la caixa de les hòsties per la paret del robot. Normalment, el capçal de polit serveix com a dispositiu d’adsorció de buit. L’hòsper s’adsorbeix fermament al cap de polit a través d’adsorció de buit, cosa que fa que el cap de polit es llisqui cap avall quan la gorra es col·loca a sota. Un cop fixada la hòstia, el cap de polit el porta al coixinet de polit per començar el procés de polit.

La manipulació de les hòsties sovint té lloc en un entorn de buit per evitar la contaminació i el braç de manipulació ha de ser extremadament dur, resistent al desgast i resistent a la temperatura. Les qualitats físiques de la ceràmica d’alúmina són que és gruixuda, molt dura i molt resistent al desgast. Un material excel·lent per als braços mecànics dels equips semiconductors és un que té una bona resistència a la calor, una excel·lent resistència mecànica, un aïllament fort, una bona resistència a la corrosió i altres qualitats físiques, fins i tot en ambients d’alta temperatura.

Les característiques principals del 99,8%del braç d'alúmina

• L’alumina és una ceràmica tècnica molt forta que té una resistència al desgast excepcional.

• Una relació d’adaptació impecable és fàcil d’aconseguir amb les dimensions d’alta precisió i la tolerància d’estrenyiment.

• Capaç de tolerar les temperatures fins a 1650 ° C en la reducció i els ambients oxidants

• L’alumina és una ceràmica tècnica molt forta que té una resistència al desgast excepcional.

• Resistència a la corrosió química a temperatures elevades, inertesa química, resistència a la majoria d’àcids forts i alcalies, i no a l’oxidació

• Aïllament elèctric: el desglossament de l’aïllament és d’almenys 18 kV.

• S'utilitzen aspiracions altes o ambients de protecció a altes temperatures per desfer -se dels contaminants i les impureses.

• En comparació amb altres ceràmiques, té un cost material baix per a aplicacions d’alt nivell.

Per concloure, els productors de semiconductors poden minimitzar el risc de danys o contaminacions durant la fabricació mitjançant l'ús de braços ceràmics d'alumina per proporcionar una manipulació precisa i fiable de les hòsties de semiconductors fràgils.