(99,8% алуминиев вафлен товарач, произведен отWintrustek)
99,8%алуминиев керамичен товарач е компонент, използван в процесите на производство на полупроводници. Алуминиевата керамика е вид керамичен материал с отлична електрическа изолация и високи свойства на термична проводимост, което я прави подходящ за различни полупроводникови приложения.
Керамичната ръка обикновено се използва в оборудване за производство на полупроводници, като роботи за обработка на вафли и машини за прибиране и място. Той държи и манипулира полупроводникови вафли по време на производствения процес.
Чиста и без прах среда е необходима за решаващите процеси на полупроводниковите устройства, както и за частите, които трябва да се използват във вакуум, високи температури и корозивна газова среда.
Натоварващите вафли, изработени от 99,8% алуминиев оксид, са монтирани на "крайни ефектори" или роботи, които предават вафли и се използват за преместване на силициеви вафли в и извън процесорните камери и касети. 95% до 99,9% алуминиев оксид се използва като основен производствен материал за това, което също се нарича полупроводникова керамика. Методът на пренос на вафли изисква използването на алуминиеви керамични механични оръжия с висока чистота, за които са от първостепенно значение за прецизните изисквания за обработка и материал.
Вафлата в CMP устройството е внимателно поставена върху платформата под полиращата глава, след като е отстранена от кутията на вафли до стената на робота. Обикновено полиращата глава служи като вакуумно адсорбционно устройство. Вафлата е здраво адсорбирана върху полиращата глава чрез вакуумна адсорбция, което кара полиращата глава да се плъзне надолу, когато вафлата е поставена под нея. След като вафлата бъде закрепена, полиращата глава я пренася към подложката за полиране, за да започне процеса на полиране.
Работата с вафли често се извършва във вакуумна среда, за да се предотврати замърсяването, а рамото за обработка трябва да бъде изключително твърда, устойчива на износване и температурно устойчива. Физическите качества на алуминиевата керамика са, че тя е гъста, силно твърда и силно устойчива на износване. Отличен материал за механичните оръжия на полупроводниковото оборудване е този, който има добра топлинна устойчивост, отлична механична якост, силна изолация, добра устойчивост на корозия и други физически качества дори в високотемпературна среда.
Основните характеристики на 99,8%алуминиев рамо
Alumina е много силна техническа керамика, която има изключителна устойчивост на износване.
Безупречно прилягащи се отношения е лесна за постигане с високи прецизни размери и затягане на толерантността.
В състояние да понася температури до 1650 ° C в намаляване и окисляване на средата
Alumina е много силна техническа керамика, която има изключителна устойчивост на износване.
Устойчивост на химическа корозия при високи температури, химическа инертност, устойчивост на по -голямата част от силните киселини и алкали, а не ръжда
Електрическа изолация: Изолационната повреда е най -малко 18 kV.
Високи вакууми или защитни среди при високи температури се използват за отърване от замърсители и примеси.
В сравнение с друга керамика, тя има ниски материали за приложения на високо ниво.
В заключение, полупроводниковите производители могат да сведат до минимум риска от повреди или замърсяване по време на производството, като използват керамични оръжия на алуминиев оксид, за да осигурят прецизно и надеждно боравене с крехки полупроводници.
