Fun iṣakojọpọ itanna, awọn sobusitireti seramiki ṣe ipa bọtini ni sisopọ awọn ikanni itujade ooru inu ati ita, bakanna bi ibaraenisepo itanna mejeeji ati atilẹyin ẹrọ. Awọn sobusitireti seramiki ni awọn anfani ti iṣipopada igbona giga, resistance ooru ti o dara, agbara ẹrọ giga, ati olusọdipúpọ kekere ti imugboroosi gbona, ati pe wọn jẹ awọn ohun elo sobusitireti ti o wọpọ fun iṣakojọpọ ẹrọ semikondokito agbara.
Ni awọn ofin ti eto ati ilana iṣelọpọ, awọn sobusitireti seramiki ti pin si awọn oriṣi 5.
Awọn ohun elo seramiki Multilayer Apapo-Iwọn otutu-giga (HTCC)
Awọn ohun elo seramiki ti o ni iwọn otutu kekere (LTCC)
Awọn ohun elo seramiki Fiimu Nipọn (TFC)
Awọn sobusitireti seramiki Dide Ejò taara (DBC)
Awọn sobusitireti seramiki (DPC) Palara Ejò Taara
Awọn ilana iṣelọpọ oriṣiriṣi
Sobusitireti seramiki Taara (DBC) ti ṣe agbekalẹ nipasẹ fifi atẹgun pọ si laarin bàbà ati seramiki lati gba ojutu eutectic Cu-O laarin 1065 ~ 1083℃, atẹle nipa iṣesi lati gba ipele agbedemeji (CuAlO2 tabi CuAl2O4), nitorinaa riri akojọpọ irin ti kemikali ti Cu awo ati seramiki sobusitireti, ati ki o si nipari mọ awọn ti iwọn igbaradi nipa lithography ọna ẹrọ lati dagba awọn Circuit.
Olusọdipúpọ imugboroja igbona ti sobusitireti DBC sunmọ ti awọn ohun elo epitaxial LED, eyiti o le dinku aapọn igbona ti ipilẹṣẹ laarin chirún ati sobusitireti.
Taara Plated Copper (DPC) sobusitireti seramiki ni a ṣe nipasẹ sisọ Layer bàbà sori sobusitireti seramiki, lẹhinna ṣiṣafihan, etched, ti ya fiimu, ati nikẹhin jijẹ sisanra ti laini bàbà nipasẹ elekitiropiti tabi dida kemikali, lẹhin yiyọ photoresist, awọn metalized ila ti wa ni ti pari.
Awọn anfani ati awọn alailanfani ti o yatọ
Awọn anfani ti DBC Seramiki Sobusitireti
Niwọn igbati bankanje bàbà ni itanna to dara ati imunadoko igbona, DBC ni awọn anfani ti iṣesi igbona ti o dara, idabobo ti o dara, igbẹkẹle giga, ati pe o ti lo pupọ ni awọn idii IGBT, LD, ati CPV. Paapa nitori idẹkun idẹ ti o nipọn (100 ~ 600μm), o ni awọn anfani ti o han ni aaye ti IGBT ati LD apoti.
Awọn aila-nfani ti DBC Seramiki Sobusitireti
Ilana iṣelọpọ naa nlo ifasilẹ eutectic laarin Cu ati Al2O3 ni awọn iwọn otutu giga, eyiti o nilo ipele giga ti ohun elo iṣelọpọ ati iṣakoso ilana, nitorinaa jẹ ki idiyele giga.
Nitori iran irọrun ti microporosity laarin Al2O3 ati Layer Cu, eyiti o dinku resistance mọnamọna gbona ti ọja naa, awọn aila-nfani wọnyi di igo ti igbega sobusitireti DBC.
Awọn anfani ti DPC Seramiki Sobusitireti
Ilana iwọn otutu kekere (ni isalẹ 300 ° C) ni a lo, eyiti o yago fun awọn ipa buburu ti iwọn otutu giga lori ohun elo tabi ilana laini, ati tun dinku idiyele ti ilana iṣelọpọ.
Awọn lilo ti tinrin fiimu ati photolithography ọna ẹrọ, ki awọn sobusitireti lori irin ila finer, ki awọn DPC sobusitireti jẹ apẹrẹ fun awọn titete ti ga konge awọn ibeere fun awọn apoti ti awọn ẹrọ itanna.
Awọn alailanfani ti DPC Seramiki Sobusitireti
Lopin sisanra ti awọn electroplated nile Ejò Layer ati ki o ga idoti ti electroplating egbin ojutu.
Agbara imora laarin irin Layer ati seramiki jẹ kekere, ati pe igbẹkẹle ọja jẹ kekere nigba lilo.
