(99.8 ٪ ایلومینا ویفر لوڈر بازو کے ذریعہ تیار کیا گیا ہےونٹرسٹیک)
ایک 99.8 ٪ ایلومینا سیرامک لوڈر بازو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہونے والا ایک جزو ہے۔ ایلومینا سیرامک ایک قسم کا سیرامک مواد ہے جس میں بہترین برقی موصلیت اور اعلی تھرمل چالکتا کی خصوصیات ہے ، جس سے یہ سیمیکمڈکٹر کی مختلف ایپلی کیشنز کے ل suitable موزوں ہے۔
سیرامک بازو عام طور پر سیمیکمڈکٹر پروڈکشن آلات میں ملازمت کرتا ہے جیسے ویفر ہینڈلنگ روبوٹ اور پیک اینڈ پلیس مشینیں۔ یہ پیداوار کے عمل کے دوران سیمیکمڈکٹر ویفرز کو تھامے اور جوڑ توڑ کرتا ہے۔
سیمیکمڈکٹر ڈیوائسز کے اہم عمل کے ساتھ ساتھ ان حصوں کے لئے بھی صاف اور دھول سے پاک ماحول ضروری ہے جن کو ویکیوم ، اعلی درجہ حرارت اور گیس کے ماحول میں استعمال کرنا ضروری ہے۔
99.8 ٪ ایلومینا پر مشتمل ویفر لوڈرز "اینڈ انفورسٹرز" یا ویفر ہینڈنگ روبوٹ پر لگائے جاتے ہیں اور سلیکن ویفرز کو عمل کے چیمبروں اور کیسیٹس میں اور باہر منتقل کرنے کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔ 95 to سے 99.9 ٪ ایلومینیم آکسائڈ کو بنیادی پروڈکشن میٹریل کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے جس کے لئے سیمیکمڈکٹر سیرامکس بھی کہا جاتا ہے۔ ویفر ٹرانسفر کا طریقہ کار اعلی طہارت ایلومینا سیرامک مکینیکل ہتھیاروں کے استعمال کی ضرورت ہے ، جس کے لئے عین مطابق پروسیسنگ اور مادی ضروریات سب سے اہم ہیں۔
روبوٹ کی دیوار کے ذریعہ ویفر باکس سے ہٹائے جانے کے بعد سی ایم پی ڈیوائس میں ویفر احتیاط سے پالش کرنے والے سر کے نیچے پلیٹ فارم پر رکھا جاتا ہے۔ عام طور پر ، پالش کرنے والا سر ویکیوم ایڈسورپشن ڈیوائس کے طور پر کام کرتا ہے۔ ویفر کو ویکیوم جذب کے ذریعہ پالش کرنے والے سر پر مضبوطی سے جذب کیا جاتا ہے ، جس کی وجہ سے جب ویفر کو نیچے رکھا جاتا ہے تو پالش کرنے والا سر نیچے کی طرف پھسل جاتا ہے۔ ایک بار جب ویفر کو باندھ دیا جاتا ہے تو ، پالش کرنے والا سر پالش کرنے کا عمل شروع کرنے کے لئے اسے پالش کرنے والے پیڈ میں لاتا ہے۔
آلودگی کو روکنے کے لئے ویفر ہینڈلنگ اکثر ویکیوم ماحول میں ہوتی ہے ، اور ہینڈلنگ بازو انتہائی سخت ، لباس مزاحم اور درجہ حرارت سے مزاحم ہونا چاہئے۔ ایلومینا سیرامک کی جسمانی خصوصیات یہ ہیں کہ یہ موٹی ، انتہائی سخت اور پہننے کے لئے انتہائی مزاحم ہے۔ سیمیکمڈکٹر آلات مکینیکل ہتھیاروں کے لئے ایک عمدہ مواد وہ ہے جس میں گرمی کی مزاحمت ، عمدہ مکینیکل طاقت ، مضبوط موصلیت ، اچھی سنکنرن مزاحمت ، اور اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں بھی دیگر جسمانی خصوصیات ہیں۔
99.8 ٪ ایلومینا بازو کی اہم خصوصیات
ایلومینا ایک بہت ہی مضبوط تکنیکی سیرامک ہے جس میں غیر معمولی لباس مزاحمت ہے۔
بے عیب فٹنگ رشتہ اعلی صحت سے متعلق جہتوں اور سخت رواداری کے ساتھ حاصل کرنا آسان ہے۔
ماحول کو کم کرنے اور آکسائڈائزنگ کرنے میں 1650 ° C تک درجہ حرارت کو برداشت کرنے کے قابل
ایلومینا ایک بہت ہی مضبوط تکنیکی سیرامک ہے جس میں غیر معمولی لباس مزاحمت ہے۔
اعلی درجہ حرارت ، کیمیائی جڑت ، مضبوط تیزابوں اور الکلیوں کی اکثریت کے خلاف مزاحمت ، اور زنگ نہیں ، کیمیائی سنکنرن کے خلاف مزاحمت
برقی موصلیت: موصلیت کا خرابی کم از کم 18 کلو وی ہے۔
اعلی درجہ حرارت پر اعلی ویکیومز یا حفاظتی ماحول آلودگیوں اور نجاستوں سے نجات پانے کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔
دوسرے سیرامکس کے مقابلے میں ، اس میں اعلی سطحی ایپلی کیشنز کے لئے کم مادی لاگت ہے۔
نتیجہ اخذ کرنے کے لئے ، سیمیکمڈکٹر پروڈیوسر مینوفیکچرنگ کے دوران نقصان یا آلودگی کے خطرے کو کم کر سکتے ہیں تاکہ ایلومینا سیرامک ہتھیاروں کا استعمال کرتے ہوئے نازک سیمیکمڈکٹر ویفرز کی عین مطابق اور قابل اعتماد ہینڈلنگ فراہم کی جاسکے۔
