(99,8% руки навантажувача з алюмінієюВінтрустек)
99,8%Alumina Ceramic навантажувача - це компонент, що використовується в процесах виготовлення напівпровідників. Кераміка глинозему - це тип керамічного матеріалу з відмінною електричною ізоляцією та високими властивостями теплопровідності, що робить його придатним для різних напівпровідникових застосувань.
Керамічна рука зазвичай використовується в напівпровідниковому виробничому обладнанні, такому як роботи з обробкою вафель та машини для вибору. Він проводить і маніпулює напівпровідниковими вафлями під час виробничого процесу.
Чисте середовище без пилу необхідне для вирішальних процесів напівпровідникових пристроїв, а також деталей, які необхідно використовувати у вакуумі, високих температурах та корозійних газових умовах.
Власні навантажувачі, виготовлені з 99,8% глинозему, встановлюються на "кінцевих ефекторах" або пластирах, що передають роботів і використовуються для переміщення кремнієвих вафель у технологічні та касети. 95% до 99,9% оксиду алюмінію використовується як первинний виробничий матеріал для того, що також називають напівпровідниковою керамікою. Метод передачі вафель потребує використання керамічних механічних рук з високою чистотою глинозему, для яких точні вимоги до обробки та матеріалів є першорядними.
Пластина в пристрої CMP обережно розміщується на платформі під полірувальною головкою після вилучення з вафельної коробки стіною робота. Зазвичай головка полірування служить пристроєм адсорбції вакууму. Пластина міцно адсорбується на полірувальній головці через вакуумну адсорбцію, що призводить до того, що полірувальна голова ковзає вниз, коли пластина розміщується під нею. Після того, як пластина застібається, полірувальна голова приносить її на полірувальну прокладку, щоб розпочати процес полірування.
Поводження з вафлями часто відбувається у вакуумному середовищі, щоб запобігти забрудненню, а керована рука повинна бути надзвичайно жорсткою, стійкою до зносу та стійкою до температури. Фізичні якості кераміки глинозему полягають у тому, що він товстий, дуже жорсткий і дуже стійкий до зносу. Відмінний матеріал для напівпровідникового обладнання Механічна зброя-це хороша тепловідповідач, відмінна механічна міцність, сильна ізоляція, хороша стійкість до корозії та інші фізичні якості навіть у високотемпературних умовах.
Основні риси 99,8%руки глинозему
Алюміній - це дуже сильна технічна кераміка, яка має виняткову стійкість до зносу.
Бездоганний пристосований взаємозв'язок легко досягти з високими розмірами точності та затягуванням толерантності.
Здатний терпіти температури до 1650 ° C у зменшенні та окислюванні середовищ
Алюміній - це дуже сильна технічна кераміка, яка має виняткову стійкість до зносу.
Резистентність до хімічної корозії при високій температурі, хімічній інертності, стійкості до більшості сильних кислот та лугів, а не іржі
Електрична ізоляція: Побивка ізоляції становить щонайменше 18 кВ.
Високі вакууми або захисні середовища при високих температурах використовуються для позбавлення від забруднень та домішок.
Порівняно з іншими кераміками, вона має низьку матеріальну вартість для високого рівня застосувань.
На закінчення, виробники напівпровідників можуть мінімізувати ризик пошкодження або забруднення під час виробництва, використовуючи керамічні зброї з глинозему, щоб забезпечити точне та надійне поводження з крихкими напівпровідниковими вафлями.
