(99,8% Алумина Вафер Армер кулыВинтрустек)
99,8% Алумина Керамик йөкле кул - ярымүткәргеч җитештерү процессларында кулланылган компонент. Алюмина керамик - әйдәпле электр изоляциясе һәм югары ярымүләм кушымталары өчен куллы терамик материалның төре.
Керамик кул гадәттә ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында эшли, вафотлар роботларны һәм сайлау машиналарын эшкәртү. Җитештерү процессы вакытында ул ярымүткәргеч вафларын тота һәм кулы.
Ярымүткәргеч җайланмалары өчен чиста һәм тузансыз мохит кирәк - мөһим процесслар, вакуум, югары температурада, коррозив газ мохитендә эшкә урнашырга тиешле өлешләр.
99,8% Алуминадан ясалган вафер йөкләүчеләр "Ахыр чыганакларга" яки роботларны тапшыру ваферларына куелган һәм кремний сарыкларны палаталардан һәм кассеталардан күчерү өчен кулланыла. 95% - 95,9,9% алюминий оксиды төп җитештерү материалы шулай ук ярымүткәргеч керамика дип аталган. Вафу күчерү ысулы зур чистарту алюмина керамик механик коралларын куллануны таләп итә, анда төгәл эшкәртү һәм матди таләпләр иң мөһиме.
CMP-җайланмадагы вафе робот стенасы белән ватылган баш астындагы платформага җентекләп урнаштырылган. Гадәттә, бизәү башы вакуум адсорпция җайланмасы булып хезмәт итә. Вафе вакуум адсорпция аша бизәү башында нык бәйләнгән, бу аны вафе урнаштырылганда бизәү башына эремчеккә китерә. Вафу бәйләнгәннән соң, бизәү башы аны бизәү процессын башлау өчен бизәү тактасына китерә.
Вафер белән эш вакуум мохитендә еш пычрануны булдырмас өчен еш була, һәм кул белән эшкәртү бик каты, кием чыдам һәм температурага чыдам булырга тиеш. Алюмина керамикның физик сыйфатлары - ул калын, бик каты, киенү өчен бик чыдам. Ярымүткәргеч җиһазлары өчен искиткеч материал - яхшы җылылык каршылыгы, яхшы механик көче, көчле механик көч, көчле изоляция, яхшы коррозия каршылыгы һәм башка физик сыйфатлар да.
99,8% Алумина кулының төп үзенчәлекләре
Алумина - бик көчле техник керамика, ул гаҗәеп киемгә каршы.
Тиешле үлчәмнәр һәм толерантлык белән ирешү җиңел булган кимчелексез мөнәсәбәтләр җиңел.
Тоту һәм оксидлаштыру мохитендә 1650 ° C кебек темпка түзә белә
Алумина - бик көчле техник керамика, ул гаҗәеп киемгә каршы.
Химик коррозиягә, югары температурада, химик сыерлыкта, көчле кислоталарның һәм алкалидаларның күпчелегенә каршы тору, һәм дат түгел
Электр изоляциясе: изоляция бозылу ким дигәндә 18 КВ.
Хәрәк температурада биек вакуумнар яки яклау мохите пычраткыч матдәләрдән һәм пычранудан арыну өчен кулланыла.
Башка керамика белән чагыштырганда, ул югары дәрәҗәдәге кушымталар өчен аз бәягә ия.
Йомгаклау, ярымүткәргеч җитештерүчеләр Алумина керамик кораллары җитештерү вакытында зыян яки пычрану куркынычын киметергә мөмкин, төгәл һәм лаеклы яр белән бәйле.
