(% 99.8 alümina gofret yükleyici kolu tarafından üretilenWintrustek)
%99.8 alümina seramik yükleyici kolu, yarı iletken üretim işlemlerinde kullanılan bir bileşendir. Alümina seramik, mükemmel elektrik yalıtımı ve yüksek termal iletkenlik özelliklerine sahip bir seramik malzemedir, bu da onu çeşitli yarı iletken uygulamalar için uygun hale getirir.
Seramik kolu genellikle gofret taşıma robotları ve toplama ve yer makineleri gibi yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılır. Üretim sürecinde yarı iletken gofretleri tutar ve manipüle eder.
Yarı iletken cihazların önemli işlemleri ve vakum, yüksek sıcaklıklar ve aşındırıcı gaz ortamlarında kullanılması gereken parçalar için temiz ve tozsuz bir ortam gereklidir.
% 99.8 alüminadan yapılmış gofret yükleyicileri "uç efektörler" veya gofret teslim robotlarına monte edilir ve silikon gofretleri proses odalarına ve kasetlere taşımak için kullanılır. % 95 ila% 99.9 alüminyum oksit, yarı iletken seramik olarak da adlandırılan birincil üretim malzemesi olarak kullanılır. Gofret transfer yöntemi, hassas işleme ve malzeme gereksinimlerinin çok önemli olduğu yüksek saflıkta alümina seramik mekanik kolların kullanılmasını gerektirir.
CMP cihazındaki gofret, robot duvarı tarafından gofret kutusundan çıkarıldıktan sonra parlatma kafasının altındaki platforma dikkatlice yerleştirilir. Genellikle, parlatma kafası bir vakum adsorpsiyon cihazı olarak işlev görür. Gofret, parlatma kafasına vakum adsorpsiyonu yoluyla sıkıca adsorbe edilir, bu da parlatma kafasının altına yerleştirildiğinde aşağı doğru kaymasına neden olur. Gofret sabitlendikten sonra, parlatma kafası parlatma işlemine başlamak için parlatma pedine getirir.
Gofret kullanımı genellikle kontaminasyonu önlemek için bir vakum ortamında gerçekleşir ve taşıma kolu son derece sert, aşınmaya dayanıklı ve sıcaklığa dayanıklı olmalıdır. Alümina seramiğinin fiziksel nitelikleri, kalın, son derece sert ve aşınmaya karşı son derece dirençli olmasıdır. Yarı iletken ekipman mekanik kolları için mükemmel bir malzeme, yüksek sıcaklık ortamlarında bile iyi ısı direncine, mükemmel mekanik mukavemet, güçlü yalıtım, iyi korozyon direnci ve diğer fiziksel özelliklere sahip olan malzemedir.
%99.8 alümina kolunun ana özellikleri
Alümina, olağanüstü aşınma direncine sahip çok güçlü bir teknik seramiktir.
Yüksek hassasiyetli boyutlar ve sıkılaştırma toleransı ile kusursuz bir montaj ilişkisi elde etmek kolaydır.
Ortamları azaltma ve oksitleme konusunda 1650 ° C'ye kadar sıcaklıkları tolere edebilme
Alümina, olağanüstü aşınma direncine sahip çok güçlü bir teknik seramiktir.
Yüksek sıcaklıklarda kimyasal korozyona direnç, kimyasal atıllık, güçlü asitlerin ve alkalilerin çoğuna direnç ve pas değil
Elektrik Yalıtım: Yalıtım dökümü en az 18 kV'dir.
Kirleticilerden ve safsızlıklardan kurtulmak için yüksek sıcaklıklarda yüksek vakumlar veya koruyucu ortamlar kullanılır.
Diğer seramiklerle karşılaştırıldığında, üst düzey uygulamalar için düşük malzeme maliyetine sahiptir.
Sonuç olarak, yarı iletken üreticileri, kırılgan yarı iletken gofretlerin hassas ve güvenilir kullanımını sağlamak için alümina seramik kolları kullanarak üretim sırasında hasar veya kontaminasyon riskini en aza indirebilir.
