(99.8% alumina wafer loader braso na ginawa ngWintrustek)
Ang isang 99.8%alumina ceramic loader braso ay isang sangkap na ginagamit sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang alumina ceramic ay isang uri ng ceramic material na may mahusay na elektrikal na pagkakabukod at mataas na mga katangian ng thermal conductivity, na ginagawang angkop para sa iba't ibang mga aplikasyon ng semiconductor.
Ang ceramic braso ay karaniwang ginagamit sa mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor tulad ng wafer na paghawak ng mga robot at mga pick-and-place machine. Ito ay humahawak at manipulahin ang mga wafer ng semiconductor sa panahon ng proseso ng paggawa.
Ang isang malinis at walang alikabok na kapaligiran ay kinakailangan para sa mga mahahalagang proseso ng mga aparato ng semiconductor pati na rin ang mga bahagi na dapat magtrabaho sa vacuum, mataas na temperatura, at mga kinakain na kapaligiran ng gas.
Ang mga wafer loader na gawa sa 99.8% na alumina ay naka -mount sa "end effects" o wafer handing robots at ginagamit upang ilipat ang mga wafer ng silikon papasok at labas ng mga proseso ng mga silid at cassette. Ang 95% hanggang 99.9% aluminyo oxide ay ginagamit bilang pangunahing materyal sa paggawa para sa kung ano ang tinutukoy din bilang semiconductor ceramics. Ang paraan ng paglilipat ng wafer ay nangangailangan ng paggamit ng high-kadalisayan na alumina ceramic mechanical arm, kung saan ang tumpak na pagproseso at mga kinakailangan sa materyal ay pinakamahalaga.
Ang wafer sa aparato ng CMP ay maingat na inilalagay sa platform sa ilalim ng ulo ng buli matapos na tinanggal mula sa kahon ng wafer ng pader ng robot. Karaniwan, ang buli ng ulo ay nagsisilbing aparato ng vacuum adsorption. Ang wafer ay mahigpit na na -adsorbed sa buli ng ulo sa pamamagitan ng vacuum adsorption, na nagiging sanhi ng pag -polish ng ulo ng pababa kapag ang wafer ay inilalagay sa ilalim nito. Kapag ang wafer ay na -fasten, ang buli ng ulo ay nagdadala nito sa polishing pad upang simulan ang proseso ng buli.
Ang paghawak ng wafer ay madalas na nagaganap sa isang kapaligiran ng vacuum upang maiwasan ang kontaminasyon, at ang braso ng paghawak ay dapat na napakahirap, lumalaban sa pagsusuot, at lumalaban sa temperatura. Ang mga pisikal na katangian ng alumina ceramic ay ito ay makapal, lubos na mahirap, at lubos na lumalaban sa pagsusuot. Ang isang mahusay na materyal para sa mga kagamitan sa semiconductor na mekanikal na braso ay isa na may mahusay na paglaban sa init, mahusay na lakas ng mekanikal, malakas na pagkakabukod, mahusay na paglaban sa kaagnasan, at iba pang mga pisikal na katangian kahit na sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura.
Ang mga pangunahing tampok ng 99.8%na braso ng alumina
Ang alumina ay isang napakalakas na teknikal na ceramic na may pambihirang paglaban sa pagsusuot.
Ang isang walang kamali -mali na angkop na relasyon ay madaling makamit na may mataas na sukat ng katumpakan at masikip na pagpapaubaya.
Magagawang tiisin ang mga temperatura na kasing taas ng 1650 ° C sa pagbabawas at pag -oxidizing na mga kapaligiran
Ang alumina ay isang napakalakas na teknikal na ceramic na may pambihirang paglaban sa pagsusuot.
Paglaban sa kaagnasan ng kemikal sa mataas na temperatura, pagkawalang -kilos ng kemikal, paglaban sa karamihan ng mga malakas na acid at alkalies, at hindi kalawang
Electrical Insulation: Ang pagbagsak ng pagkakabukod ay hindi bababa sa 18 kV.
Ang mga mataas na vacuums o proteksiyon na kapaligiran sa mataas na temperatura ay ginagamit upang mapupuksa ang mga kontaminado at impurities.
Kumpara sa iba pang mga keramika, mayroon itong mababang materyal na gastos para sa mga application na may mataas na antas.
Upang tapusin, ang mga prodyuser ng semiconductor ay maaaring mabawasan ang panganib ng pinsala o kontaminasyon sa panahon ng pagmamanupaktura sa pamamagitan ng paggamit ng alumina ceramic arm upang magbigay ng tumpak at maaasahan na paghawak ng marupok na mga wafer ng semiconductor.
