(99.8% అల్యూమినా పొర లోడర్ ఆర్మ్ చేత ఉత్పత్తి చేయబడిందివిన్‌ట్రస్టెక్)
99.8%అల్యూమినా సిరామిక్ లోడర్ ఆర్మ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే ఒక భాగం. అల్యూమినా సిరామిక్ అనేది అద్భుతమైన ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్ మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత లక్షణాలతో కూడిన సిరామిక్ పదార్థం, ఇది వివిధ సెమీకండక్టర్ అనువర్తనాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
సిరామిక్ ఆర్మ్ సాధారణంగా సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి పరికరాలైన పొర హ్యాండ్లింగ్ రోబోట్లు మరియు పిక్-అండ్-ప్లేస్ మెషీన్లలో ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో సెమీకండక్టర్ పొరలను కలిగి ఉంటుంది మరియు మార్చబడుతుంది.
సెమీకండక్టర్ పరికరాల కీలకమైన ప్రక్రియలతో పాటు వాక్యూమ్, అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు తినివేయు గ్యాస్ పరిసరాలలో ఉపయోగించాల్సిన భాగాలకు శుభ్రమైన మరియు ధూళి లేని వాతావరణం అవసరం.
99.8% అల్యూమినాతో తయారు చేసిన పొర లోడర్లు "ఎండ్ ఎఫెక్టర్లు" లేదా పొర హ్యాండింగ్ రోబోట్లలో అమర్చబడి ఉంటాయి మరియు సిలికాన్ పొరలను ప్రాసెస్ గదులు మరియు క్యాసెట్‌లలోకి మరియు వెలుపల తరలించడానికి ఉపయోగిస్తారు. 95% నుండి 99.9% అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ అని కూడా పిలువబడే ప్రాధమిక ఉత్పత్తి పదార్థంగా ఉపయోగించబడుతుంది. పొర బదిలీ పద్ధతికి అధిక-స్వచ్ఛత అల్యూమినా సిరామిక్ యాంత్రిక ఆయుధాల వాడకం అవసరం, దీని కోసం ఖచ్చితమైన ప్రాసెసింగ్ మరియు పదార్థ అవసరాలు చాలా ముఖ్యమైనవి.
CMP పరికరంలోని పొర రోబోట్ గోడ ద్వారా పొర పెట్టె నుండి తొలగించబడిన తరువాత పాలిషింగ్ తల క్రింద ఉన్న ప్లాట్‌ఫాంపై జాగ్రత్తగా ఉంచబడుతుంది. సాధారణంగా, పాలిషింగ్ తల వాక్యూమ్ అధిశోషణం పరికరంగా పనిచేస్తుంది. వాక్యూమ్ అధిశోషణం ద్వారా పొర పాలిషింగ్ తలపై గట్టిగా శోషించబడుతుంది, దీనివల్ల పొర దాని క్రింద ఉంచినప్పుడు పాలిషింగ్ తల క్రిందికి జారిపోతుంది. పొరను కట్టుకున్న తర్వాత, పాలిషింగ్ తల పాలిషింగ్ ప్రక్రియను ప్రారంభించడానికి పాలిషింగ్ ప్యాడ్‌కు తీసుకువస్తుంది.
కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి పొరల నిర్వహణ తరచుగా వాక్యూమ్ వాతావరణంలో జరుగుతుంది, మరియు నిర్వహణ చేయి చాలా కఠినంగా, దుస్తులు-నిరోధక మరియు ఉష్ణోగ్రత-నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి. అల్యూమినా సిరామిక్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు ఏమిటంటే ఇది మందంగా, చాలా కఠినమైనది మరియు ధరించడానికి అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్మెంట్ మెకానికల్ ఆర్మ్స్ కోసం ఒక అద్భుతమైన పదార్థం మంచి ఉష్ణ నిరోధకత, అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, బలమైన ఇన్సులేషన్, మంచి తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో కూడా ఇతర శారీరక లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.
99.8%అల్యూమినా ఆర్మ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
అల్యూమినా చాలా బలమైన సాంకేతిక సిరామిక్, ఇది అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
మచ్చలేని తగిన సంబంధం అధిక ఖచ్చితమైన కొలతలు మరియు బిగించే సహనాన్ని సాధించడం సులభం.
వాతావరణాలను తగ్గించడంలో మరియు ఆక్సీకరణం చేయడంలో 1650 ° C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకోగలదు
అల్యూమినా చాలా బలమైన సాంకేతిక సిరామిక్, ఇది అసాధారణమైన దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయన తుప్పుకు నిరోధకత, రసాయన జడత్వం, బలమైన ఆమ్లాలు మరియు క్షారాలకు నిరోధకత, మరియు తుప్పు కాదు
ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్: ఇన్సులేషన్ విచ్ఛిన్నం కనీసం 18 kV.
అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద అధిక వాక్యూమ్స్ లేదా రక్షిత వాతావరణాలు కలుషితాలు మరియు మలినాలను వదిలించుకోవడానికి ఉపయోగిస్తారు.
ఇతర సిరామిక్స్‌తో పోలిస్తే, ఇది అధిక-స్థాయి అనువర్తనాలకు తక్కువ పదార్థ వ్యయాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
తీర్మానించడానికి, సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిదారులు అల్యూమినా సిరామిక్ చేతులను ఉపయోగించడం ద్వారా తయారీ సమయంలో నష్టం లేదా కలుషిత ప్రమాదాన్ని తగ్గించవచ్చు.
