(99,8% АЛУМИНА ВЕФЕР ЛОАДЕР АРМ произвеоВинтрустек)
АРМ 99,8% Алумина Керамичка утоваривача је компонента која се користи у процесима производње полуводича. Алумина Керамика је врста керамичког материјала са одличном електричном изолацијом и високим својствима топлотне проводљивости, што га чини погодним за различите полуводичке апликације.
Керамичка рука се обично користи у производној опреми полуводича, као што су роботи за решавање резања и машине за преузимање. Држи и манипулише полуводичким ваферима током производног процеса.
Околина без прашине је неопходна за кључне процесе полуводича као и делове који морају бити запослени у вакуум, високим температурама и окружењима корозивног гаса.
Утоваривачи на решетке од 99,8% Алумина монтирани су на "крајње ефекте" или роботи за предају и користе се за померање силицијума и ван процесних комора и касета. 95% до 99,9% алуминијум оксида користи се као примарни производни материјал за оно што се такође назива и као полуводичка керамика. Метода преноса преноса на лицу захтева употребу високо-чистоће керамичке механичке руке од глистине, за које су најважнији прецизни захтеви за прецизну обраду и материјал.
Вафар у ЦМП уређају пажљиво се поставља на платформи испод главе за полирање након уклањања са кутије за маштану од стране робота. Обично, глава за полирање служи као вакуум адсорпциони уређај. Вафар је чврсто адсорбован на глави за полирање кроз вакуум адсорпцију, што узрокује да се глава за полирање клизне према доле када се ваффе постави испод њега. Једном када се лифе причврсти, глава полирања доноси га у полирање да би започела поступак полирања.
Руковање вафлом често се одвија у вакуум окружењу како би се спречило контаминација, а рука за руковање мора бити изузетно тешка, отпорна на трошење и температурну температуру. Физичке квалитете Алумина керамике су да је дебела, веома тешка и високо отпорна на хабање. Одличан материјал за полуводичку опрему Механичка оружја је она која има добру отпорност на топлоту, одличну механичку чврстоћу, снажну изолацију, добру отпорност на корозију и друге физичке квалитете чак и у окружењу високих температура.
Главне карактеристике 99,8% АЛУМИНА АРМ
Алумина је веома јака техничка керамика која има изузетну отпорност на хабање.
Беспрекорна уградња је лако постићи са високим прецизним димензијама и пооштравањем толеранције.
У стању да толерише температуре чак 1650 ° Ц у смањењу и оксидационим окружењима
Алумина је веома јака техничка керамика која има изузетну отпорност на хабање.
Отпорност на хемијску корозију на високим температурама, хемијској иностри, отпорност на већину јаких киселина и алкалија, а не за рђу
Електрична изолација: Распад изолације је најмање 18 кВ.
Високи вакуми или заштитно окружење на високим температурама користе се за решавање контаминаната и нечистоћа.
У поређењу с другом керамиком, има низак материјални трошак за апликације на високом нивоу.
За закључивање, произвођачи полуводича могу да смање ризик од оштећења или контаминације током производње користећи Алумина керамичке руке да би се омогућило прецизно и поуздано руковање крхком полуводичким ваферима.
