(99.8% krahu i ngarkuesit të meshës së aluminit të prodhuar ngaWINTRUSTEK)
Një krah i ngarkuesit qeramikë prej 99.8%alumini është një përbërës i përdorur në proceset e prodhimit gjysmëpërçues. Alumina Ceramic është një lloj i materialit qeramik me izolim të shkëlqyeshëm elektrik dhe veti të larta të përçueshmërisë termike, duke e bërë atë të përshtatshme për aplikime të ndryshme gjysmëpërçuese.
Krahu qeramik është zakonisht i punësuar në pajisjet e prodhimit gjysmëpërçues siç janë robotët e trajtimit të meshës dhe makinat e marrjes dhe të vendit. Ai mban dhe manipulon meshat gjysmëpërçuese gjatë procesit të prodhimit.
Një mjedis i pastër dhe pa pluhur është i nevojshëm për proceset thelbësore të pajisjeve gjysmëpërçuese, si dhe pjesët që duhet të përdoren në vakum, temperatura të larta dhe mjedise të gazit gërryes.
Ngarkuesit e meshës të bërë nga 99.8% alumin janë montuar në "efektorë fundorë" ose robotë të dorëzimit të meshës dhe përdoren për të lëvizur meshat e silikonit brenda dhe jashtë dhomave të procesit dhe kasetës. 95% deri 99.9% oksidi i aluminit përdoret si material kryesor i prodhimit për atë që quhet edhe qeramikë gjysmëpërçuese. Metoda e transferimit të meshës kërkon përdorimin e armëve mekanike qeramike me pastërti të lartë, për të cilat përpunimi i saktë dhe kërkesat e materialit janë parësore.
Breza në pajisjen CMP vendoset me kujdes në platformën nën kokën e lustrimit pasi të hiqet nga kutia e meshës nga muri i robotit. Zakonisht, koka lustruese shërben si një pajisje e adsorbimit vakum. Breza është tërhequr fort në kokën e lustrimit përmes adsorbimit të vakumit, gjë që bën që koka lustruese të rrëshqasë poshtë, kur mesha vendoset nën të. Pasi të fiksohet mesha, koka e lustrimit e sjell atë në jastëkun e lustrimit për të filluar procesin e lustrimit.
Trajtimi i meshës shpesh bëhet në një mjedis vakumi për të parandaluar ndotjen, dhe krahu i trajtimit duhet të jetë jashtëzakonisht i vështirë, rezistent ndaj konsumit dhe rezistent ndaj temperaturës. Cilësitë fizike të aluminit qeramik janë se është e trashë, shumë e vështirë dhe shumë rezistente ndaj veshjes. Një material i shkëlqyeshëm për pajisjet gjysmëpërçuese krahët mekanikë janë ai që ka rezistencë të mirë të nxehtësisë, forcë të shkëlqyeshme mekanike, izolim të fortë, rezistencë të mirë për korrozionin dhe cilësi të tjera fizike edhe në mjedise me temperaturë të lartë.
Karakteristikat kryesore të krahut të aluminit 99.8%
Alumina është një qeramikë teknike shumë e fortë që ka rezistencë të jashtëzakonshme të veshjes.
Një marrëdhënie e përsosur e përshtatshme është e lehtë për tu arritur me dimensione me precizion të lartë dhe tolerancë shtrënguese.
Në gjendje të tolerojë temperaturat deri në 1650 ° C në mjediset zvogëluese dhe oksiduese
Alumina është një qeramikë teknike shumë e fortë që ka rezistencë të jashtëzakonshme të veshjes.
Rezistencë ndaj gërryerjes kimike në temperatura të larta, inertitet kimik, rezistencë ndaj shumicës së acideve të forta dhe alkalive, dhe jo ndryshk
Izolimi elektrik: Ndarja e izolimit është të paktën 18 kV.
Vakume të larta ose mjedise mbrojtëse në temperatura të larta përdoren për të hequr qafe ndotësit dhe papastërtitë.
Në krahasim me qeramikën tjetër, ajo ka një kosto të ulët materiale për aplikime të nivelit të lartë.
Për të përfunduar, prodhuesit gjysmëpërçues mund të minimizojnë rrezikun e dëmtimit ose ndotjes gjatë prodhimit duke përdorur armët qeramike të aluminit për të siguruar trajtim të saktë dhe të besueshëm të meshave të brishtë gjysmëpërçues.
