(99,8% alumina nakladalnice, ki jo je ustvarilWintrustek)
99,8%alumina keramične nakladalnike je sestavni del, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov. Alumina keramika je vrsta keramičnega materiala z odlično električno izolacijo in visokozmognimi lastnostmi toplotne prevodnosti, zaradi česar je primerna za različne polprevodniške aplikacije.
Keramična roka se običajno uporablja v opremi za proizvodnjo polprevodnikov, kot so roboti za ravnanje z rezinami in stroji za nabiranje. Med proizvodnim procesom drži in manipulira s polprevodniškimi rezinami.
Čisto okolje brez prahu je potrebno za ključne procese polprevodniških naprav, pa tudi za dele, ki jih je treba uporabljati v vakuumu, visokih temperaturah in jedkovalnih plinskih okoljih.
Nakladalci rezin iz 99,8% glinice so nameščeni na "končnih efektorjev" ali robotih, ki dajejo rezine in se uporabljajo za premikanje silicijevih rezin v procesne komore in kasete. Kot primarni proizvodni material se uporablja 95% do 99,9% aluminijevega oksida za tisto, kar se imenuje tudi polprevodniška keramika. Metoda prenosa rezin zahteva uporabo keramičnih mehanskih rok z visoko čistočo, za katere so natančne potrebe po obdelavi in materialu najpomembnejše.
Rezina v napravi CMP je previdno nameščena na ploščadi pod poliranjem glave, potem ko jo robotski zid odstrani iz škatle rezin. Običajno poliranje služi kot vakuumska adsorpcijska naprava. Rešica je trdno adsorbirana na polirni glavi skozi adsorpcijo vakuuma, zaradi česar se polirna glava drsi navzdol, ko je pod njo nameščena rezina. Ko je rezina pritrjena, jo polirna glava pripelje do polirajoče blazinice, da začne postopek poliranja.
Ravnanje z rezinami se pogosto odvija v vakuumskem okolju, da se prepreči kontaminacija, ročna roka pa mora biti izjemno trda, odporna proti obrabi in temperaturno odporna. Fizične lastnosti keramike iz glinice so, da je debela, zelo trda in zelo odporna proti obrabi. Odličen material za polprevodniško opremo mehanske roke je tisti, ki ima dobro toplotno odpornost, odlično mehansko trdnost, močno izolacijo, dobro korozijsko odpornost in druge fizične lastnosti tudi v visokotemperaturnih okoljih.
Glavne značilnosti 99,8%roke iz alumine
Alumina je zelo močna tehnična keramika, ki ima izjemno odpornost proti obrabi.
Brezhibno prilegajoče se razmerje je enostavno doseči z visokimi natančnimi dimenzijami in zategovanjem tolerance.
Sposobnost prenašanja temperatur do 1650 ° C pri zmanjševanju in oksidacijskih okoljih
Alumina je zelo močna tehnična keramika, ki ima izjemno odpornost proti obrabi.
Odpornost na kemično korozijo pri visokih temperaturah, kemična inertnost, odpornost na večino močnih kislin in alkalij ter ne rje
Električna izolacija: Razpad izolacije je vsaj 18 kV.
Visoki vakuumi ali zaščitna okolja pri visokih temperaturah se uporabljajo za odpravljanje onesnaževal in nečistoč.
V primerjavi z drugo keramiko ima nizke materialne stroške za uporabo na visoki ravni.
Za zaključek lahko proizvajalci polprevodnikov zmanjšajo tveganje za poškodbe ali kontaminacijo med proizvodnjo z uporabo aluminine keramične roke, da bi zagotovili natančno in zanesljivo ravnanje z krhkimi polprevodniškimi rezinami.
