(99.8% ක් ඇලුමිනා වේෆර් පැටවුම් හස්තයවින්රුස්ටෙක්)
99.8% Alumina සෙරමික් ලෝඩර් හස්ත යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හි භාවිතා කරන අංගයකි. ඇලුමිනා සෙරමික් යනු විශිෂ්ට විදුලි පරිවරණයක් සහ ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් සහිත සෙරමික් ද්රව්ය වර්ගයකි, එය විවිධ අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.
ස්ක්රැටික් හස්තය සාමාන්යයෙන් සේවයේ යොදවා ඇත්තේ වේෆර් හැසිරවීම සහ පික් ඇන්ඩ් සහ ස්ථාන යන්ත්ර වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල ය. නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී එය අර්ධ සන්නායක වේෆර් දරාගෙන උපාමාරු දමයි.
අර්ධ සන්නායක උපාංග 'තීරණාත්මක ක්රියාවලීන් මෙන්ම රික්ත, අධික උෂ්ණත්වය සහ විඛාදන ගෑස් පරිසරයන් සඳහා අර්ධ සන්නායක' තීරණාත්මක ක්රියාවලීන් සඳහා පිරිසිදු හා දූවිලි රහිත පරිසරයක් අවශ්ය වේ.
99.8% කින් සාදන ලද wafer loaders "අවසාන කාර්යක්ෂමතා" හෝ රොබෝවරු භාජන භාරදීම මත ඇලුමිනා සවි කර ඇත. අර්ධ සන්නායක පිඟන් මැටි ලෙසද හැඳින්වෙන දේ සඳහා ප්රාථමික නිෂ්පාදන ද්රව්ය 95% සිට 99.9% දක්වා භාවිතා කෙරේ. වේෆර් මාරු කිරීමේ ක්රමය ඉහළ සංශුද්ධතාවක් ඇලුමිනා සෙරමික් ආයුධ භාවිතය අවශ්ය වන අතර එය නිවැරදි සැකසුම් හා ද්රව්යමය අවශ්යතා පරම හා ද්රව්යමය වේ.
සීඑම්පී උපාංගයේ ඇති වේෆරය රොබෝ බිත්තිය විසින් වේෆර් පෙට්ටියෙන් ඉවත් කිරීමෙන් පසු ඔප දැමීමේ හිසට යටින් ඇති වේදිකාවේ ප්රවේශමෙන් තබා ඇත. සාමාන්යයෙන්, ඔප දැමීමේ හිස රික්ත adsions ක් ලෙස සේවය කරයි. රික්ත adsions ිල්ස් බන්ධනය හරහා වේෆරය තදින් සරසා ඇත, එය ඔප දැමීමේ හිස යටට යටින් තැබූ විට ඔප දැමීමේ හිස පහළට තල්ලු කරයි. වේෆරය සවි කළ පසු, ඔප දැමීමේ හිස ඔප දැමීමේ ක්රියාවලිය ආරම්භ කිරීම සඳහා ඔප දැමීමේ පෑඩ් වෙත ගෙන එයි.
අපවිත්ර වීම වැළැක්වීම සඳහා වම්ෆර් හැසිරවීම බොහෝ විට රික්ත පරිසරයක සිදු වන අතර, හැසිරවීමේ හස්තය අතිශයින් දුෂ්කර විය යුතුය, පළඳින්න-ප්රතිරෝධී සහ උෂ්ණත්වය-ප්රතිරෝධී විය යුතුය. ඇලුමිනා සෙරමික් හි භෞතික ගුණාංග වන්නේ එය ඉතා දෘඩ වන අතර ඇඳීමට දැඩි ප්රතිරෝධක වේ. අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා විශිෂ්ට ද්රව්යයක් යාන්ත්රික ආයුධ යනු ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල පවා පවා හොඳ යාන්ත්රික ශක්තියක්, ශක්තිමත් පරිවරණය, හොඳ විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ වෙනත් භෞතික ගුණාංග ඇති එකකි.
99.8% අල්මාිනා හස්තයේ ප්රධාන ලක්ෂණ
ඇලුමිනා යනු සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ඇති ඉතා ශක්තිමත් තාක්ෂණික සෙරමික් ය.
දෝෂ රහිත ගැළපීමේ සම්බන්ධතාවයක් ඉහළ නිරවද්ය මානයන් හා දැඩි ඉවසීම සමඟ සාක්ෂාත් කර ගැනීම පහසුය.
අඩු කරන පරිසරය සහ ඔක්සිකාරක
ඇලුමිනා යනු සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ඇති ඉතා ශක්තිමත් තාක්ෂණික සෙරමික් ය.
අධික උෂ්ණත්වවලදී රසායනික විෂමතාව, රසායනික නිෂ්ක්රීය, රසායනික නිෂ්ක්රීය, ශක්තිමත් අම්ල සහ ක්ෂාරීය බහුතරයකට ප්රතිරෝධයෙකුට ප්රතිරෝධය, මලකඩ නොවේ
විදුලි පරිවරණය: පරිවාරක බිඳවැටීම අවම වශයෙන් 18 kV වේ.
අපවිත්ර ද්රව්ය හා අපද්රව්ය වලින් මිදීමට ඉහළ තලය හෝ ආරක්ෂිත පරිසරයන් භාවිතා වේ.
අනෙකුත් පිඟන් මැටි හා සසඳන විට, ඉහළ මට්ටමේ යෙදුම් සඳහා අඩු ද්රව්යමය පිරිවැයක් ඇත.
නිගමනය කිරීම සඳහා, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට නිෂ්පාදන නිෂ්පාදකයින්ට නිෂ්පාදන කාලවලදී හානි හෝ අපිරිසිදුකම අවම කර ගත හැකිය.
