اليڪٽرڪ پيڪنگنگ لاءِ، سيرامڪ ذيلي ذخيرا اندروني ۽ بيروني گرمي جي انتشار واري چينلن کي ڳنڍڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا، ان سان گڏ بجليءَ جي ڪنيڪشن ۽ ميڪيڪل سپورٽ ٻنهي. سيرامڪ ذيلي ذخيري ۾ اعلي حرارتي چالکائي، سٺي گرمي جي مزاحمت، اعلي ميڪيڪل طاقت، ۽ حرارتي توسيع جي گھٽ کوٽائي جا فائدا آهن، ۽ اهي پاور سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس پيڪنگنگ لاء عام سبسٽريٽ مواد آهن.
ساخت ۽ پيداوار جي عمل جي لحاظ کان، سيرامڪ ذيلي ذخيرو 5 قسمن ۾ ورهايل آهن.
تيز گرمي پد سان گڏ ملٽي ليئر سيرامڪ سبسٽراٽس (HTCC)
گھٽ گرمي پد گڏيل فائر ٿيل سيرامڪ سبسٽراٽس (LTCC)
ٿلهي فلم سيرامڪ سبسٽراٽس (TFC)
سڌو بند ٿيل ڪاپر سيرامڪ سبسٽراٽس (DBC)
سڌو پليٽ ٿيل ڪاپر سيرامڪ سبسٽراٽس (DPC)
مختلف پيداواري عمل
Direct Bonded Copper (DBC) سيرامڪ سبسٽريٽ 1065~1083℃ جي وچ ۾ Cu-O eutectic محلول حاصل ڪرڻ لاءِ تانبا ۽ سيرامڪ جي وچ ۾ آڪسيجن شامل ڪري پيدا ڪيو ويندو آهي، ان کان پوءِ وچولي مرحلي (CuAlO2 يا CuAl2O4) حاصل ڪرڻ لاءِ رد عمل، اهڙيءَ طرح ڪيميائي ميٽيلرجيڪل ميلاپ کي محسوس ڪندي. Cu پليٽ ۽ سيرامڪ سبسٽريٽ جو، ۽ پوء آخرڪار سرڪٽ ٺاهڻ لاء ليٿوگرافي ٽيڪنالاجي ذريعي گرافڪ تيار ڪرڻ جو احساس.
ڊي بي سي سبسٽريٽ جي حرارتي توسيع جي کوٽائي ايل اي ڊي ايپيٽڪسيل مواد جي تمام ويجھو آهي، جيڪا چپ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ پيدا ٿيندڙ حرارتي دٻاء کي خاص طور تي گهٽائي سگھي ٿي.
ڊائريڪٽ پليٽ ٿيل ڪاپر (DPC) سيرامڪ سبسٽريٽ سيرامڪ سبسٽريٽ تي ڪاپر جي پرت کي ڦٽو ڪري، پوءِ ان کي بي نقاب، ايچڊ، ڊي-فلم، ۽ آخر ۾ اليڪٽرروپليٽنگ يا ڪيميڪل پليٽنگ ذريعي ڪاپر جي ٿلهي کي وڌائي، ڦوٽو ريسٽ کي هٽائڻ کان پوءِ ٺاهيو ويندو آهي. metalized لائن مڪمل ڪيو ويو آهي.
مختلف فائدا ۽ نقصان
DBC Ceramic Substrate جا فائدا
تانبا جي ورق ۾ سٺي برقي ۽ حرارتي چالکائي آهي، ڊي بي سي وٽ سٺي حرارتي چالکائي، سٺي موصليت، اعلي اعتبار جي فائدن آهي، ۽ وڏي پيماني تي IGBT، LD، ۽ CPV پيڪيجز ۾ استعمال ڪيو ويو آهي. خاص طور تي ٿلهي ٽامي ورق (100 ~ 600μm) جي ڪري، ان کي IGBT ۽ LD پيڪنگنگ جي ميدان ۾ واضح فائدا آهن.
DBC Ceramic Substrate جا نقصان
پيداوار جي عمل ۾ Cu ۽ Al2O3 جي وچ ۾ تيز گرمي پد تي هڪ ايٽيڪڪڪ رد عمل لاڳو ٿئي ٿو، جنهن لاء اعلي سطحي پيداوار جي سامان ۽ پروسيس ڪنٽرول جي ضرورت هوندي آهي، اهڙيء طرح قيمت اعلي آهي.
Al2O3 ۽ Cu پرت جي وچ ۾ مائڪروپوروسيٽي جي آسان نسل جي ڪري، جيڪا پيداوار جي حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت کي گھٽائي ٿي، اهي نقصانات ڊي بي سي سبسٽريٽ جي واڌاري جي رڪاوٽ بڻجي ويندا آهن.
DPC Ceramic Substrate جا فائدا
گھٽ درجه حرارت وارو عمل (هيٺ 300 ° C) استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو مڪمل طور تي مواد يا لائن جي جوڙجڪ تي تيز درجه حرارت جي خراب اثرات کان بچائيندو آهي، ۽ پڻ پيداوار جي عمل جي قيمت گھٽائي ٿي.
پتلي فلم ۽ photolithography ٽيڪنالاجي جو استعمال، ته جيئن ڌاتو لائن finer تي substrate، تنهن ڪري DPC substrate اليڪٽرانڪ ڊوائيسز جي پيڪنگ لاء اعلي سڌائي جي گهرج جي ترتيب لاء مثالي آهي.
DPC Ceramic Substrate جا نقصان
اليڪٽروپليٽ ٿيل ٽامي جي پرت جي محدود ٿولهه ۽ اليڪٽروپليٽنگ فضول حل جي اعلي آلودگي.
دات جي پرت ۽ سيرامڪ جي وچ ۾ تعلق جي طاقت گهٽ آهي، ۽ پيداوار جي اعتبار گهٽ آهي جڏهن لاڳو ٿئي ٿي.